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分光干涉式晶圓膜厚儀 SF-3

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膜厚儀

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上海波銘科學(xué)儀器有限公司成立于2013年,是一家專業(yè)從事科學(xué)儀器研發(fā)、生產(chǎn)、銷售于一體的高科技技術(shù)企業(yè)。公司主要服務(wù)于各大高校、科研院所和高*工業(yè)客戶。主要提供光學(xué)儀器如光柵光譜儀、熒光光譜儀,膜厚測量儀,探測器響應(yīng)分析儀、太陽能電池量子效率測試系統(tǒng)等科研實(shí)驗(yàn)室儀器;及光學(xué)機(jī)械加工設(shè)計(jì),電子測量等專業(yè)的解決方案服務(wù)。公司以“專注質(zhì)量、用心服務(wù)”為核心價(jià)值。希望通過我們的專業(yè)水平和不懈努力,力爭為中國的科研及精密制造事業(yè)貢獻(xiàn)一股力量。

上海波銘科學(xué)儀器公司為美國理波公司(Newport)、日本大塚(Otsukael)正式代理商。配有專業(yè)光學(xué)技術(shù)人員,專注于光學(xué)儀器市場的開發(fā)和應(yīng)用,已經(jīng)為復(fù)旦大學(xué)、上海交通大學(xué)、上海科技大學(xué)、南京大學(xué)、中國科技大學(xué)、北京大學(xué)、清華大學(xué)、聯(lián)影醫(yī)療、思特威電子等用戶提供專業(yè)的服務(wù)。

公司成立多年來,我們一直秉承以用戶需求為核心,在專注光學(xué)等核心技術(shù)市場的同時(shí),已經(jīng)為超過一百家高??蒲性核推髽I(yè)提供了成套和部分的解決方案服務(wù)。優(yōu)質(zhì)、用心的服務(wù)贏得了眾多用戶的信賴和好評。公司不僅僅提供專業(yè)的光學(xué)解決方案服務(wù),同時(shí)還建立了完善的售后服務(wù)體系。我們相信,通過我們的不斷努力和追求,一定能夠?qū)崿F(xiàn)與高校、企業(yè)、科研院所的互利共贏!

 

 

 

光學(xué)測試系統(tǒng);光源/激光器;光譜儀;光電探測器;電子數(shù)據(jù)采集器;光學(xué)平臺;電動(dòng)位移臺;手動(dòng)位移臺;調(diào)整架;光學(xué)元件

即時(shí)檢測

WAFER基板于研磨制程中的膜厚

玻璃基板(強(qiáng)酸環(huán)境中)于減薄制程中的厚度變化

規(guī)格式樣


                    SF-3
膜厚測量范圍                    0.1 μm ~ 1600 μm※1
膜厚精度                    ±0.1% 以下
重復(fù)精度                    0.001% 以下
測量時(shí)間                    10msec 以下
測量光源                    半導(dǎo)體光源
測量口徑                    Φ27μm※2
WD                    3 mm ~ 200 mm
測量時(shí)間                    10msec 以下

※1 隨光譜儀種類不同,厚度測量范圍不同
※2 最小Φ6μm







上海波銘科學(xué)儀器有限公司主要提供光譜光電集成系統(tǒng)、晶萃光學(xué)機(jī)械和光學(xué)平臺、激光器、Edmund 光學(xué)元件、Newport 產(chǎn)品、濱松光電探測器、卓立漢光熒光拉曼光譜儀、是德 Keysight 電學(xué)測試系統(tǒng)、大塚 Otsuka 膜厚儀、鑫圖科研級相機(jī)、Semilab 半導(dǎo)體測試設(shè)備及高低溫探針臺系統(tǒng)。經(jīng)過多年的發(fā)展,上海波銘科學(xué)儀器有限公司在市場上已取得了一定的地位。我們的產(chǎn)品和服務(wù)在行業(yè)內(nèi)具有較高的知zhi名度和美譽(yù)度,客戶遍布全國。我們將繼續(xù)努力,不斷提升市場地位和影響力。



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