分光干涉式晶圓膜厚儀 SF-3
- 公司名稱 上海波銘科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 OTSUKA/日本大塚
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/1/23 11:31:43
- 訪問次數(shù) 332
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光學(xué)測試系統(tǒng);光源/激光器;光譜儀;光電探測器;電子數(shù)據(jù)采集器;光學(xué)平臺;電動(dòng)位移臺;手動(dòng)位移臺;調(diào)整架;光學(xué)元件
即時(shí)檢測
WAFER基板于研磨制程中的膜厚
玻璃基板(強(qiáng)酸環(huán)境中)于減薄制程中的厚度變化
規(guī)格式樣
SF-3 | |
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膜厚測量范圍 | 0.1 μm ~ 1600 μm※1 |
膜厚精度 | ±0.1% 以下 |
重復(fù)精度 | 0.001% 以下 |
測量時(shí)間 | 10msec 以下 |
測量光源 | 半導(dǎo)體光源 |
測量口徑 | Φ27μm※2 |
WD | 3 mm ~ 200 mm |
測量時(shí)間 | 10msec 以下 |
※1 隨光譜儀種類不同,厚度測量范圍不同
※2 最小Φ6μm
上海波銘科學(xué)儀器有限公司主要提供光譜光電集成系統(tǒng)、晶萃光學(xué)機(jī)械和光學(xué)平臺、激光器、Edmund 光學(xué)元件、Newport 產(chǎn)品、濱松光電探測器、卓立漢光熒光拉曼光譜儀、是德 Keysight 電學(xué)測試系統(tǒng)、大塚 Otsuka 膜厚儀、鑫圖科研級相機(jī)、Semilab 半導(dǎo)體測試設(shè)備及高低溫探針臺系統(tǒng)。經(jīng)過多年的發(fā)展,上海波銘科學(xué)儀器有限公司在市場上已取得了一定的地位。我們的產(chǎn)品和服務(wù)在行業(yè)內(nèi)具有較高的知zhi名度和美譽(yù)度,客戶遍布全國。我們將繼續(xù)努力,不斷提升市場地位和影響力。