森泰克刻蝕機(jī)Etchlab 200
- 公司名稱 北京瑞科中儀科技有限公司
- 品牌 SENTECH
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2024/10/10 14:28:52
- 訪問次數(shù) 142
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森泰克刻蝕機(jī)Etchlab 200 是一款高性能的等離子刻蝕設(shè)備，由德國Sentech公司研發(fā)生產(chǎn)。該產(chǎn)品結(jié)合了RIE平行板等離子體源設(shè)計與直接置片的成本效益設(shè)計，具有多種優(yōu)勢和特點，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微納加工、材料科學(xué)等領(lǐng)域。以下是對Etchlab 200產(chǎn)品的詳細(xì)介紹：
一、產(chǎn)品特點
模塊化設(shè)計： 采用模塊化設(shè)計，可根據(jù)用戶需求進(jìn)行靈活配置和升級。其真空系統(tǒng)、真空鎖和供氣系統(tǒng)均可按需求進(jìn)行擴(kuò)展，以適應(yīng)不同的工藝需求。
高精度與靈活性：該設(shè)備能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的微細(xì)結(jié)構(gòu)制造和加工，同時其設(shè)計靈活，操作簡便。用戶可以通過簡單的操作實現(xiàn)樣品的快速加載和刻蝕處理。
成本效益森泰克刻蝕機(jī)Etchlab 200 結(jié)合了RIE平行板電極設(shè)計的優(yōu)點和直接置片的成本效益設(shè)計，使得設(shè)備在保持高性能的同時，也具有較高的性價比。
用戶友好：設(shè)備配備了SENTECH控制軟件，該軟件功能強(qiáng)大且用戶友好，具有模擬圖形用戶界面、參數(shù)窗口、工藝編輯窗口、數(shù)據(jù)記錄和用戶管理等功能，方便用戶進(jìn)行工藝設(shè)置和監(jiān)控。
二、技術(shù)規(guī)格
樣品加載：Etchlab 200具有簡單快速的樣品加載功能，支持從零件到直徑為200mm或300mm的晶圓片直接加載到電極或載片器上。
設(shè)計特點：設(shè)備設(shè)計靈活、模塊化且占地面積小。頂部電極和反應(yīng)腔體設(shè)有診斷窗口，可方便地容納SENTECH激光干涉儀或OES和RGA系統(tǒng)。橢偏儀端口可用于SENTECH原位橢偏儀進(jìn)行原位監(jiān)測。
應(yīng)用范圍：Etchlab 200可配置用于刻蝕多種材料，包括但不限于硅和硅化合物、復(fù)合半導(dǎo)體、介質(zhì)和金屬等。
三、應(yīng)用領(lǐng)域
Etchlab 200等離子刻蝕機(jī)在多個領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用，包括但不限于：
半導(dǎo)體制造：用于微納加工、芯片制造等過程中的刻蝕工藝。
微納加工：在微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）、微光學(xué)器件等領(lǐng)域中，用于制造高精度的微細(xì)結(jié)構(gòu)。
材料科學(xué)：在材料表面改性、薄膜制備等領(lǐng)域中，用于實現(xiàn)材料的精細(xì)加工和改性處理。
四、售后服務(wù)
森泰克刻蝕機(jī)提供完善的售后服務(wù)，包括安裝調(diào)試現(xiàn)場免費培訓(xùn)、電話支持響應(yīng)等。具體服務(wù)內(nèi)容可能因銷售商或代理商而異，請用戶在購買前咨詢相關(guān)服務(wù)細(xì)節(jié)。
綜上所述，Etchlab 200是一款高性能、高精度、靈活且成本效益高的等離子刻蝕設(shè)備，在半導(dǎo)體、微納加工、材料科學(xué)等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景。
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