FC-66系列 Kimball Physics 探測(cè)器 法拉第杯

Kimball Physics 探測(cè)器 法拉第杯

輸入 4W 最大連續(xù)1 英寸板，標(biāo)準(zhǔn)孔徑為 5.0 毫米 定制孔徑可達(dá) 9.5 毫米可選能量分析網(wǎng)格可選堅(jiān)固的熒光屏可選 SMA 連接器

Kimball Physics 探測(cè)器 法拉第杯

輸入 4W 最大連續(xù)

定制孔徑尺寸未安裝，可靈活放置，BNC 接頭杯組件封閉在接地屏蔽中

描述

聚焦或均勻的廣角低能電子束10 eV 至 1500 eV應(yīng)用：表面物理研究真空物理實(shí)驗(yàn)電荷中和電子解吸表面清理熒光粉測(cè)試電離實(shí)驗(yàn)半導(dǎo)體加工

應(yīng)用：

表面物理研究真空物理實(shí)驗(yàn)電荷中和電子解吸表面清理熒光粉測(cè)試電離實(shí)驗(yàn)半導(dǎo)體加工功能/選項(xiàng)：參數(shù)可控性廣泛光光束或窄角光束靜電聚焦偏轉(zhuǎn)、光柵、脈沖可拆卸噴槍電腦 / 遙控器

能量范圍：10 eV 至 1500 eV

光束電流/光斑尺寸：1 nA 至 100 μA光斑尺寸：1mm 至 100mm安裝：2.75 英寸（23/4 英寸）CF，可拆卸選項(xiàng)特點(diǎn)/選項(xiàng)：窄角光束或泛光光束、靜電聚焦、偏轉(zhuǎn)、光柵、脈沖Kimball Physics EFG-7 電子槍及其匹配的 EGPS-1017 電源旨在用于各種超高真空 （UHV） 物理實(shí)驗(yàn)、表面物理實(shí)驗(yàn)和加工應(yīng)用。它是一個(gè)完整的子系統(tǒng)，隨時(shí)可以連接和打開(kāi)。光束能量、光束電流和光斑尺寸可在很寬的范圍內(nèi)獨(dú)立調(diào)節(jié)。EFG-7 電子槍使用難熔金屬陰極產(chǎn)生均勻的泛光光束。槍式設(shè)計(jì)允許產(chǎn)生低能量和極低電流的光束。標(biāo)準(zhǔn)型號(hào) EFG-7 可產(chǎn)生 1 nA 至 100 μA 的束流和 10 eV 至 1500 eV 的能量。高電流選項(xiàng)提供高達(dá) 1 mA 的光束電流。居中、偏轉(zhuǎn)、光柵和脈沖均作為選項(xiàng)提供。由于該設(shè)計(jì)已優(yōu)化為泛洪槍，并使用圓柱形 4 極偏轉(zhuǎn)器，因此當(dāng)光束聚焦到一個(gè)小點(diǎn)時(shí)，偏轉(zhuǎn)像差可能會(huì)很嚴(yán)重。全程采用 UHV 技術(shù)。該噴槍可以在 10 級(jí)真空中運(yùn)行-11torr 最多 10-5torr 用于標(biāo)準(zhǔn) Ta 盤陰極。電子槍可在去除電纜后烘烤至 350°C。使用法拉第杯時(shí)，最大值為 65oC 除非被刪除。