10nm超低震動(dòng)4K變溫系統(tǒng) 液氦極低溫

一、概述：

系統(tǒng)組成：

該系統(tǒng)由氦制冷機(jī)、氦壓縮機(jī)、水冷機(jī)、真空泵組、溫度傳感器、控溫儀、真空腔體、KF25真空抽口、以及制冷機(jī)支架、樣品臺(tái)、樣品卡等附件共同構(gòu)成。10nm超低震動(dòng)4K變溫系統(tǒng) 液氦極低溫

產(chǎn)品特點(diǎn)：

1.制冷量：一級(jí)制冷7W@45K，二級(jí)制冷1.0W@4K，所需電為380V，50Hz。

2.工作壓力：<2×10^-4Pa；正常生產(chǎn)時(shí)，會(huì)經(jīng)過(guò)氦氣質(zhì)譜檢漏儀撿漏，真空度可以達(dá)到10^-4Pa，（可選10^-6Pa）依據(jù)泵的極限真空而定。

3.溫度監(jiān)控：樣品臺(tái)處設(shè)置一處溫度測(cè)量點(diǎn)，監(jiān)控并顯示樣品處的溫度。測(cè)溫精度±0.01K。

4.樣品降溫和升溫時(shí)間：制冷至4K的時(shí)間小于2.2h（腔室加大后會(huì)延長(zhǎng)制冷時(shí)間），制冷關(guān)機(jī)后在真空下恢復(fù)到常溫的時(shí)間小于3h，該裝置采用無(wú)液氦閉循環(huán)制冷機(jī)制冷，制冷量為4K@1.0W，無(wú)負(fù)載是降溫到70K所需時(shí)間為60min，當(dāng)安裝上負(fù)載后，考慮到負(fù)載以及相關(guān)支撐裝置的冷卻，制冷時(shí)間會(huì)相應(yīng)的加長(zhǎng)，但是依據(jù)經(jīng)驗(yàn)，該降溫時(shí)間大約在1.2h，滿足實(shí)驗(yàn)要求。

5.集成控制系統(tǒng)：控制真空系統(tǒng)、制冷機(jī)的運(yùn)行及安全反饋功能?？稍O(shè)置和顯示工作目標(biāo)參數(shù)和系統(tǒng)工作狀態(tài)，具備反饋安全控制功能。10nm超低震動(dòng)4K變溫系統(tǒng) 液氦極低溫

技術(shù)指標(biāo)：

震動(dòng)量：＜10nm

變溫范圍：4.5K-325K （零下269.15℃-零上51℃）

測(cè)溫精度：0.01℃

真 空 度：10^-4pa

光學(xué)窗口：2只（可定制）

窗口材料：熔融石英

輸出電極：8根

二、操作流程

1：將按照所需要做的實(shí)驗(yàn)進(jìn)行安裝相應(yīng)的卡具。安裝完成后按照?qǐng)D紙將系統(tǒng)組件完畢。

2：使用分子泵組將分子泵組的分子泵抽氣端口和真空腔體的KF25的真空抽氣口用焊接波紋管連接在一起，打開(kāi)波紋管上的高真空擋板閥，開(kāi)啟分子泵組，將系統(tǒng)內(nèi)的真空度降至低于2X10^-4Pa，關(guān)閉擋板閥移除波紋管（若實(shí)驗(yàn)時(shí)不礙事可以不進(jìn)行拆除）；

3：連接控溫儀，開(kāi)啟壓縮機(jī)，對(duì)系統(tǒng)內(nèi)的進(jìn)行降溫，降溫至4K以下。在控溫儀上顯示附近的溫度，以及冷頭處的溫度。

4：測(cè)試完成后，關(guān)閉壓縮機(jī)，等待系統(tǒng)自動(dòng)升溫。

熱仿真分析

在降溫至4K時(shí)，制冷機(jī)的功率為1.2W，此時(shí)對(duì)整個(gè)所處環(huán)境進(jìn)行熱仿真分析，具體分析結(jié)果如下圖。

根據(jù)熱仿真結(jié)果可知，在4.2K時(shí)，溫度均勻一致。

更多指標(biāo)：詳詢錦正茂科技