VPM-7 丹麥 SENS4 A/S ATM寬量程真空傳感器

負(fù)載鎖是一種真空室，用于將半導(dǎo)體晶圓等設(shè)備從環(huán)境氣壓加載到真空處理室。負(fù)載鎖通常在大氣氣壓環(huán)境壓力和將晶圓轉(zhuǎn)移到加工真空室所需的足夠真空壓力之間循環(huán)。精確控制負(fù)載鎖真空室中的壓力對于防止環(huán)境空氣和顆粒污染負(fù)載鎖和晶圓至關(guān)重要。

可編程設(shè)置和參數(shù)

用戶可以對傳感器設(shè)置和參數(shù)進(jìn)行編程，以控制真空系統(tǒng)和應(yīng)用參數(shù)。

數(shù)字串行接口支持診斷、預(yù)測性維護(hù)、維修、校準(zhǔn)、設(shè)定值配置、模擬輸出縮放和實(shí)時(shí)真空壓力測量值的采集，以便在屏幕上顯示。串行USB編程器與免費(fèi)、直觀的配置軟件相結(jié)合，是用于傳感器編程、實(shí)時(shí)測量和診斷的即插即用解決方案。

模擬電壓輸出

用戶可以通過 S4-Connect™ 或 RS-232/RS-485 接口將模擬輸出配置為 0-10 VDC 范圍內(nèi)的任何任意縮放。模擬輸出縮放功能可在有限的壓力范圍內(nèi)放大信號(hào)。此外，還提供多種模擬輸出縮放選項(xiàng)，以模擬其他供應(yīng)商的真空計(jì)和傳感器。可選的輔助模擬輸出可對全范圍真空壓力和相對于大氣壓的壓力信號(hào)進(jìn)行外部監(jiān)測。

用于壓力指示的新型 RGB LED

SmartPirani™ ATM引入了一種新方法，通過多色LED直觀地確定測量的壓力，該LED在整個(gè)壓力范圍內(nèi)平滑地改變顏色。這種可選的視覺功能是集成顯示器的低成本替代方案，可提供測量壓力的粗略視覺指示。如果真空系統(tǒng)加壓超過環(huán)境壓力，它還會(huì)提供清晰的視覺警告。

可靠而穩(wěn)健的壓力控制

為了優(yōu)化負(fù)載鎖定性能，需要準(zhǔn)確可靠地控制多個(gè)壓力參數(shù)。SmartPirani™ ATM傳感器具有三個(gè)獨(dú)立的固態(tài)開關(guān)繼電器，可配置為控制排氣、傳輸室閘閥和負(fù)載鎖門。

與傳統(tǒng)的機(jī)電繼電器相比，固態(tài)繼電器具有可靠性和更快的開關(guān)時(shí)間，同時(shí)提供無電弧觸點(diǎn)，并且在開關(guān)觸點(diǎn)時(shí)不會(huì)產(chǎn)生EMI（電磁干擾）。SmartPirani™ ATM 控制繼電器經(jīng)久耐用，并通過了 UL 認(rèn)證、CSA 認(rèn)證和 EN/IEC 60950-1 認(rèn)證，在用于控制關(guān)鍵真空過程和高循環(huán)負(fù)載鎖定應(yīng)用時(shí)具有最大的信心。