劃片機(jī)
- 公司名稱 研啟科學(xué)儀器(東莞)有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/10/22 15:28:11
- 訪問(wèn)次數(shù) 73
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純水機(jī),離心機(jī),旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀,光譜儀,質(zhì)譜儀,頻譜儀,示波器,掃描電子顯微鏡,電化學(xué)工作站,,流式細(xì)胞儀,手套箱,磁控濺射
v 應(yīng)用方向:半導(dǎo)體晶圓、集成電路、QFN、發(fā)光二極管、LED芯片、太陽(yáng)能電池、電子基片等的劃切,適用于包括硅、石英、陶瓷、氧化鋁、氧化鐵、砷化鎵、鈮酸鋰、藍(lán)寶石和玻璃等
v 加工尺寸:≤φ305mm/260*260mm
v 運(yùn)動(dòng)方式:雙軸對(duì)向式
v X軸速度:600mm/s 直線度:1.5μm全行程
v Y軸有效行程:310mm 定位精度2μm 分辨率0.1μm
v Z軸有效行程:40mm 單步步進(jìn)量0.0001mm 刀輪直徑60mm
v T軸:轉(zhuǎn)動(dòng)角度范圍380
v 主軸轉(zhuǎn)速60000rpm/min