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離子注入機

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公司主要銷售實驗室儀器儀表、實驗室儀器設備、散熱材料、增材制造設備、電氣設備、電子產(chǎn)品、通訊器材、機械配件、通訊器材、電腦軟硬件、機械配件、非標自動化設備、五金工具、實驗耗材和試劑(不含危險化學品)、激光儀器及輔助設備;

電氣設備、信息系統(tǒng)設計、集成;工程管理服務;單晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳納米管技術開發(fā)、技術轉(zhuǎn)讓和檢驗檢測服務;

計算機軟硬件及輔助設備、信息系統(tǒng)軟件、非標自動化設備的租賃和維修;

銷售醫(yī)療器械、文化辦公用品、五金交電、機械設備、監(jiān)控設備、建筑材料、裝飾材料、辦公室用品;第二類醫(yī)療器械經(jīng)營、第三類醫(yī)療器械經(jīng)營;依托進口核心產(chǎn)品做研發(fā):

團隊是由深圳大學從事材料,光學,生物團隊組成,目前核心創(chuàng)始人3位,分別負責材料,生物和光電領域,分別提供相應配套設施以及技術解決方案等;業(yè)務目前主要覆蓋東莞,深圳,惠州,廣州等整個廣東地區(qū),可快速抵達廣東所在區(qū)域提供技術支持和服務。

目前典型服務客戶有:清華大學深圳國際研究生院,哈爾濱工業(yè)大學(深圳),南方科技大學,深圳大學,深圳技術大學,北京大學深圳研究生院,松山湖材料實驗室,大灣區(qū)大學(籌),東莞理工學院,中山大學,暨南大學,華南理工大學,廣東工業(yè)大學等

純水機,離心機,旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀,光譜儀,質(zhì)譜儀,頻譜儀,示波器,掃描電子顯微鏡,電化學工作站,,流式細胞儀,手套箱,磁控濺射

v 單價離子加速能量200keV,并增加減速系統(tǒng)實現(xiàn)單價離子在5keV~200keV的能量范圍

v 可用于2、3、46、8英寸晶圓以及不規(guī)則碎片

v 可注入BP、As、Al、S、H、MgSi離子

v 注入劑量精準度1.5%

v 離子注入劑量范圍:1×1011 at/cm21×1016 at/cm2

v 離子源部分:離子源、離子源氣體系統(tǒng)和離子源引出系統(tǒng)

v 離子源系統(tǒng)搭載5套從固體蒸發(fā)源產(chǎn)生離子的Vaporizer,溫度達700℃,實現(xiàn)固態(tài)源的離子注入

v 離子注入傾斜角度在

v 室溫臺:;高溫臺:

v 束流調(diào)整系統(tǒng)主要包括:質(zhì)量分析器、束流匯聚系統(tǒng)、加速系統(tǒng)、掃描系統(tǒng)、束流檢測和高壓絕緣變壓器

v 真空系統(tǒng)主要包括:Ion Source真空系統(tǒng)、Beam Line真空系統(tǒng)、End Station真空系統(tǒng)、真空系統(tǒng)中的真空管件和閥門以及真空檢測單元

v 真空度:

Ion Source真空度:≤7×10-4Pa

Beam Line真空度:≤7×10-5Pa

End Station真空度:≤7×10-5Pa

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