快速退火爐RTP
- 公司名稱 研啟科學(xué)儀器(東莞)有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/10/22 15:38:47
- 訪問(wèn)次數(shù) 90
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純水機(jī),離心機(jī),旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀,光譜儀,質(zhì)譜儀,頻譜儀,示波器,掃描電子顯微鏡,電化學(xué)工作站,,流式細(xì)胞儀,手套箱,磁控濺射
v 主要功能:快速熱退火,快速熱氧化,快速熱氮化,擴(kuò)散,化合物半導(dǎo)體退火,離子注入后退火,電極合金化等
v 樣片尺寸:8inch,向下兼容,支持不規(guī)整樣品退火
v 退火溫度范圍:室溫~1200 ℃。
v 室溫到1000度,升溫速率120 ℃/second
v 全程熱電偶測(cè)溫,不使用高溫計(jì),無(wú)需額外校準(zhǔn)
v 退火溫度的重復(fù)性、準(zhǔn)確性± 1 ℃
v 兩路工藝氣體,MFC流量計(jì)控制,流量為0-5NLM
v 可通入氮?dú)狻⒀鯕?,可以分別通入或者通入混合氣體
v 可選擇真空退火模式,真空度可達(dá)10^-6hpa
v 配置前級(jí)泵,抽速3L/s,極限壓力4*10-2pa
v SPS SIMATIC 軟件控制工藝過(guò)程,可編程序不少于50個(gè),且每個(gè)程序可編程步驟不少于50步