電感耦合等離子體刻蝕ICP
- 公司名稱 研啟科學(xué)儀器(東莞)有限公司
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- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2024/10/22 16:57:45
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純水機(jī),離心機(jī),旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀,光譜儀,質(zhì)譜儀,頻譜儀,示波器,掃描電子顯微鏡,電化學(xué)工作站,,流式細(xì)胞儀,手套箱,磁控濺射
v 兼容200mm以下所有尺寸的晶圓,快速更換到不同尺寸的晶圓工藝
v 電極的適用溫度范圍寬,-150°C至400°C
v ICP源尺寸為65mm,180mm,300mm
v 應(yīng)用方向:
? III-V族材料的刻蝕工藝
? 固體激光器InP刻蝕
? VCSEL GaAs/AlGaAs刻蝕
? 射頻器件低損傷GaN刻蝕
? 硅 Bosch和超低溫刻蝕工藝
? 類金剛石(DLC)沉積
? 二氧化硅和石英刻蝕
? 用特殊配置的PlasmaPro FA設(shè)備進(jìn)行失效分析的干法刻蝕解剖工藝,可處理封裝好的芯片、 裸晶片以及200mm晶圓
? 沉積高質(zhì)量的PECVD氮化硅和二氧化硅薄膜,用于光子學(xué)、電介質(zhì)層、鈍化等諸多其它用途
? 用于高亮度LED生產(chǎn)的硬掩模沉積和刻蝕