超純氣流高流量一體式過濾器
- 公司名稱 深圳市恒歌科技有限公司
- 品牌恒歌
- 型號
- 所在地深圳市
- 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間2024/10/24 17:37:33
- 訪問次數(shù) 128
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供貨周期 | 一周 | 貨號 | hk202353101 |
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主要用途 | 氣液過濾 | 材質(zhì) | 不銹鋼 |
特性 | 耐高溫、耐腐蝕、易清洗 | 工作溫度 | 600℃ |
定制 | 來圖打樣 |
用于半導(dǎo)體應(yīng)用的高純半導(dǎo)體工藝氣體過濾器
產(chǎn)品介紹
工藝氣體專用過濾器,專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計(jì)。結(jié)合了擴(kuò)散器的氣體流動(dòng)特性和高效過濾器的顆粒攔截特性,擴(kuò)散器專用過濾器過濾精度可達(dá)0.003μm。全316L不銹鋼結(jié)構(gòu),不僅確保高效過濾,更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生,對工藝室環(huán)境造成影響,有效防止氣流吹起顆?;蛘叽灯鸸杵?啥ㄖ苹O(shè)計(jì),靈活適應(yīng)各類安裝空間。
產(chǎn)品特點(diǎn)
?不銹鋼粉末燒結(jié)介質(zhì),可快速排氣
?整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)
?減少工藝腔體排氣時(shí)的湍流
?適用于多種工藝氣體
?潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測試、包裝
?100%完整性測試通過
?100%氦氣泄露檢測通過
?耐高溫、耐高壓、耐腐蝕
?防止微?;烊耄瑤椭岣弋a(chǎn)品合格率
?可根據(jù)安裝空間進(jìn)行設(shè)計(jì)