官方微信|手機(jī)版

產(chǎn)品展廳

產(chǎn)品求購(gòu)企業(yè)資訊會(huì)展

發(fā)布詢價(jià)單

化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>熱工藝設(shè)備/熱處理設(shè)備>退火爐> RTP快速退火爐600V

分享
舉報(bào) 評(píng)價(jià)

RTP快速退火爐600V

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!


      本所自開發(fā)RTP快速退火系列產(chǎn)品以來已近30年。自1988年受中科院委托研發(fā)光照快速熱處理設(shè)備以來與清華,北大,浙大,半導(dǎo)體所,微電子所,物理所等高校研究所共同進(jìn)步,為華為,三安光電,中電科等半導(dǎo)體企業(yè)保駕護(hù)航,也被一些海外的教授專家所青睞。如香港理工大學(xué),香港中文大學(xué),香港科技大學(xué)。美國(guó)堪薩斯州立大學(xué),美國(guó)揚(yáng)斯頓州立大學(xué)和新加坡南洋理工大學(xué)也有數(shù)臺(tái)在科研教學(xué)一線。

快速退火爐,真空快速退火爐

RTP快速退火爐600V
RTP快速退火爐600V
性能指標(biāo) 配備狀態(tài)
溫度范圍 150 – 1250 ℃
升溫速率 2  —  150℃/秒可調(diào)


樣品尺寸 8寸(多溫區(qū)控制)
降溫速率 80℃/秒


溫度 ±2℃
1100℃連續(xù)工作時(shí)間 雙閉環(huán)溫度控制>400秒
光源 鹵鎢燈
電源 380 V  40A 三相 4線(三火線, 零線)
水源 自來水或循環(huán)水, 水壓 1—3 kg / 平方厘米, 流量6-8升/分
壓力 常壓
可編程配氣系統(tǒng) 1路MFC(可增加)

相關(guān)分類

氧化擴(kuò)散設(shè)備

該廠商的其他產(chǎn)品



化工儀器網(wǎng)

采購(gòu)商登錄
記住賬號(hào)    找回密碼
沒有賬號(hào)?免費(fèi)注冊(cè)

提示

×

*您想獲取產(chǎn)品的資料:

以上可多選,勾選其他,可自行輸入要求

個(gè)人信息: