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RTP快速退火爐真空型500SV

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      本所自開發(fā)RTP快速退火系列產(chǎn)品以來已近30年。自1988年受中科院委托研發(fā)光照快速熱處理設(shè)備以來與清華,北大,浙大,半導(dǎo)體所,微電子所,物理所等高校研究所共同進步,為華為,三安光電,中電科等半導(dǎo)體企業(yè)保駕護航,也被一些海外的教授專家所青睞。如香港理工大學(xué),香港中文大學(xué),香港科技大學(xué)。美國堪薩斯州立大學(xué),美國揚斯頓州立大學(xué)和新加坡南洋理工大學(xué)也有數(shù)臺在科研教學(xué)一線。

快速退火爐,真空快速退火爐

RTP快速退火爐真空型500SV
RTP快速退火爐真空型500SV
性能指標(biāo) 配備狀態(tài)
溫度范圍 100 – 1300 ℃
升溫速率 2  —  200 ℃/秒可調(diào)
密封石英腔內(nèi)面尺寸 215 X 140X 14 毫米
樣品尺寸 4英寸
計算機控制器 PC 機控制,內(nèi)存 4G,500G硬盤,處理器:I3 以上及快速熱處理編程控制軟件RTP-500的控制軟件.
可編程溫度曲線存儲1500 條以上, 每條曲線包括100段以上, 溫度設(shè)定范圍 25—1300℃ , 每段時間設(shè)定范圍1—30000 秒。數(shù)據(jù)可導(dǎo)出為文本文件便于數(shù)據(jù)處理。自動優(yōu)化溫控。
溫度設(shè)定范圍 100-1300℃
溫度重復(fù)性 +/-1℃ 6區(qū)控溫
測溫精確度 100-1300全溫度段精度>0.5%
測溫裝置 K型熱電偶
溫度曲線 自動記錄,保存,文本格式轉(zhuǎn)換,支持彩色分頁打印
真空系統(tǒng) 提供KF16接口,不銹鋼管路,極限真空度0.1Pa
1000℃連續(xù)工作時間 雙閉環(huán)溫度控制,  穩(wěn)態(tài)溫度穩(wěn)定性±2℃ ,1000℃連續(xù)工作>1小時
光源 1.25KW X 13 鹵鎢燈
電源 380 V  40A 三相 四線(三火線, 零線),50/60Hz
冷卻裝置 自來水或循環(huán)水, 水壓 1—3 kg / 平方厘米, 流量6-8升/分
冷卻方式 水冷,風(fēng)冷,氣冷
安全裝置 過溫報警,過熱報警,過熱自動保護,水壓報警,水壓異常自動保護

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氧化擴散設(shè)備


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