XRD-SDCOM小晶體樣品臺式X射線單晶定向儀
- 公司名稱 上海富瞻環(huán)??萍加邢薰?/a>
- 品牌 Freiberg Instruments
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/10/28 18:38:39
- 訪問次數(shù) 70
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非甲烷總烴在線監(jiān)測儀,有機揮發(fā)物氣體監(jiān)測儀,沼氣檢測儀,大氣環(huán)境在線檢測儀,空氣質(zhì)量指數(shù)檢測儀器,大氣氣象綜合分析系統(tǒng),林業(yè)大氣環(huán)境檢測儀,交通環(huán)境大氣污染檢測,惡臭工作站
價格區(qū)間 | 面議 | 儀器種類 | 雙晶衍射 |
---|---|---|---|
應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
XRD-SDCOM小晶體樣品臺式X射線單晶定向儀
產(chǎn)品特點
在晶圓片的注入和光刻過程中,需要平面或凹槽作為定位標(biāo)記。切割過程中,晶片必須正確地對準(zhǔn)晶圓片上易于切割的晶格面。因此,檢查平面或缺口的位置至關(guān)重要。
詳細(xì)介紹
產(chǎn)品介紹:
技術(shù)特點
l 能夠測量小至1mm的晶體到或更大的樣品
l 各種樣品架及輸送夾具,用于線鋸、拋光等
l 側(cè)晶方向標(biāo)記選項
l 無水冷卻
l **精度:0.01°(視晶體質(zhì)量而定)
l 確定單晶的晶格取向
l 使用Omega掃描方法的超高速晶體定位測量
l 氣冷式X射線管,無需水冷
l 適合于研究和生產(chǎn)質(zhì)量控制
l 手動操作(沒有自動化選項)
可測量材料的例子
? 立方/任意未知方向:Si, Ge, GaAs, GaP, InP
? 立方/特殊取向:Ag, Au, Ni, Pt, GaSb, InAs, InSb, AlSb, ZnTe, CdTe, SiC3C, PbS, PbTe, SnTe, MgO, LiF, MgAl2O4, SrTiO3, LaTiO3
? 正方:MgF2, TiO2, SrLaAlO4
? 六方/三角:SiC 2H, 4H, 6H, 15R, GaN, ZnO, LiNbO3, SiO2(石英),Al2O3(藍(lán)寶石),GaPO4, La3Ga5SiO14
? 斜方晶系:Mg2SiO4 NdGaO3
? 可根據(jù)客戶的要求進一步選料
平面方向的標(biāo)記和測量
在晶圓片的注入和光刻過程中,需要平面或凹槽作為定位標(biāo)記。切割過程中,晶片必須正確地對準(zhǔn)晶圓片上易于切割的晶格面。因此,檢查平面或缺口的位置至關(guān)重要。
為了確定平面或缺口的位置,就需要測量平面內(nèi)的部件。由于Omega掃描法可以在一次測量中確定完整的晶體方位,基于此,便可以直接識別在平面方向或檢查方向的單位或缺口。
DDCOM通過旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤,可以將任何平面方向轉(zhuǎn)換成用戶的特定位置。在必須定義平面方向的情況下,這可以**簡化將標(biāo)記應(yīng)用到特定平面方向的過程。