日本 Certas Leaga 化學氣體刻蝕系統(tǒng)
| 參考價 | ￥ 780000 |
| 訂貨量 | ≥1臺 |
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 深圳市科時達電子科技有限公司
- 品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2024/11/4 16:46:20
- 訪問次數(shù) 108
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化學氣體刻蝕系統(tǒng) Certas Leaga
Certas LEAGA是一種率的系統(tǒng)，除了Certas WING的基本性能之外，還可以滿足單個平臺上的多個流程需求。針對當前和下一代設備的大量生產(chǎn)，LEAGA具有易于配置的主機，可以進行優(yōu)化，以匹配所需的應用程序。擴展了Certas系列的工藝技術，現(xiàn)在可以控制多種類型氧化硅薄膜中的蝕刻選擇性，從非選擇性到高度選擇性，為從大批量生產(chǎn)到下一個廣泛應用的關鍵接口提供控制一代發(fā)展。
特征
的干氣去除選擇性范圍廣的選擇氧化膜
集群雙晶圓腔室設計提供靈活的模塊配置
應用
二氧化硅膜去除和回蝕
在硅接觸之前進行預清潔
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