UR-Z714M-B horiba數(shù)字式壓力控制器UR-Z714M IGS 14W3

horiba數(shù)字式壓力控制器UR-Z714M IGS 14W3

控制壓力范圍0.02M-Bar-9.5M-Bar， 數(shù)字通訊， IGS接口

暢銷型號(hào)：UR-Z712M-B、UR-Z722M-B、UR-Z732M-B、UR-Z714M-B、UR-Z724M-B、UR-Z734M-B、GR-312F、GR-317F、GR-511F、GR-224FD。

UR-Z714M-B是UR-Z700中的一款，控制該壓力控制器前端的壓力。

horiba數(shù)字式壓力控制器UR-Z714M IGS 14W3是UR-Z7714M-B的模塊化接口IGS形式。節(jié)省控制尺寸，實(shí)現(xiàn)管路的模塊化設(shè)計(jì)。

UR-Z700系列是高性能自動(dòng)壓力控制閥配備電子調(diào)節(jié)閥，帶有高精度壓力傳感器和高分辨率、快速響應(yīng)的壓電閥。根據(jù)接收到的外部控制信號(hào)控制壓力。

管路接口可選擇 IGS 14W3

UR-Z712M、UR-Z722M、UR-Z732M、UR-Z712M-B、UR-Z722M-B、UR-Z732M-B、支持模擬輸出和RS485通訊

UR-Z714M、UR-Z724M、UR-Z734M、UR-Z714M-B、UR-Z724M-B、UR-Z734M-B 支持DeviceNet™ 通訊模式。

產(chǎn)品性能:

· 分兩種應(yīng)用：入口控制型（-M-B 型）和出口控制型

· 消除大流量氣路切換引起的串?dāng)_影響（出口控制型）

· 快速響應(yīng)：0.5 秒內(nèi)

· 靈活的設(shè)計(jì)：可以安裝在任何位置，適用于各種氣體供應(yīng)系統(tǒng)

· 進(jìn)氣壓力多種選擇：表壓、絕對壓力

· 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)（UR-Z704 系列）

· 超潔凈：全金屬結(jié)構(gòu)

參數(shù)表

產(chǎn)品背面圖

horiba數(shù)字式壓力控制器UR-Z714M IGS 14W3

周邊產(chǎn)品

Horiba品牌介紹：

HORIBA是全球著名的半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商，主要提供氣體質(zhì)量流量控制器、液體質(zhì)量流量控制器、壓力控制器、汽化器。在半導(dǎo)體設(shè)備PECVD、MOCVD、Etch等關(guān)鍵工藝有非常廣泛的應(yīng)用。

壓力控制器暢銷型號(hào)

UR-Z712M-B、UR-Z722M-B、UR-Z732M-B、UR-Z714M-B、UR-Z724M-B、UR-Z734M-B、GR-312F、GR-317F、GR-511F、GR-224FD。

與壓力控制器 配套的有 質(zhì)量流量計(jì)，質(zhì)量流量控制器

暢銷型號(hào)：

SEC-D500、SEC-Z700X、SEC-Z700S

進(jìn)口高性能數(shù)字型號(hào): SEC-Z512KX、SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGXN、SEC-Z532MGX、SEC-Z514KX、SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGXN、SEC-Z534MGX、SEC-Z517MGX

SEC-Z527MGXN.

進(jìn)口低成本數(shù)字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N116MGM、SEC-N122MGM、SEC-N124MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、SEC-N172R、SEC-N176R.

模擬型質(zhì)量流量控制器：SEC-E40MK3、SEC-E50MK3、SEC-E40V、SEC-E50V，SEC-E431X、SEC-E441X、SEC-E531、SEC-E541。

液體質(zhì)量流量控制器：LV-F20PO、LV-F30PO、LV-F30PO、LV-F40 PO、LV-F50 PO、LV-F60PO、

液體質(zhì)量流量計(jì)LF-F20M、LF-F30M、LF-F40M、LF-F60M。

用于質(zhì)量流量計(jì)標(biāo)定的皂膜流量計(jì)SF-1U、SF-2U。