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化工儀器網>產品展廳>實驗室常用設備>泵>真空泵>HR60/HR90/HR300/HR600 日本進口ULVAC愛發(fā)科多級羅茨干式真空泵

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HR60/HR90/HR300/HR600 日本進口ULVAC愛發(fā)科多級羅茨干式真空泵

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玉崎科學儀器(深圳)有限公司是京都玉崎株式會社全資設立的中國子公司，專業(yè)從事國內貿易/國際貿易業(yè)務，主要經營光學設備、電子計測儀器、科學儀器、機械設備、環(huán)境試驗設備、PC周邊用品、作業(yè)工具用品、電源、化學用品、FA自動化多類上萬種產品的銷售。公司憑借優(yōu)秀的渠道管理能力，可控的交期和匹配的物流體系，科學嚴謹?shù)漠a品質量，專業(yè)的線下服務能力,為客戶提供極有競爭力的價格以及各方位的技術支持

 

 

 

 

 

 

真空泵;離心機,;監(jiān)測儀,真空系統(tǒng),除塵裝置,數(shù)字粉塵儀;粒子計數(shù)器,環(huán)境監(jiān)測設備,環(huán)境測量設備 環(huán)境檢測設備

產地類別 進口 產品類型 有油泵
價格區(qū)間 面議 儀器種類 真空泵
應用領域 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,綜合

日本進口ULVAC愛發(fā)科多級羅茨干式真空泵

日本進口ULVAC愛發(fā)科多級羅茨干式真空泵


通過在高溫范圍內均勻加熱泵體，
泵能夠將CVD、蝕刻等過程中產生的升華廢氣物質以氣態(tài)排出。

特征


  • 可以將在高溫區(qū)域的均熱CVD、蝕刻等中產生的升華廢氣以氣態(tài)排出。
    UR系列可以達到比HR系列更高的溫度。


  • 配備氦氣密閉電機，密封結構，安全性高。

  • 瞬時停電對策
    我們采取了防止1000毫秒內瞬時停電的措施。

  • 優(yōu)異的耐腐蝕性
    主要部件標準采用表面硬度高、耐腐蝕性優(yōu)異的特殊表面處理。當腐蝕性氣體排出時，減少泵內部的腐蝕。

  • 通訊功能
    可以讀取有關泵運行狀態(tài)和警告/警報歷史記錄的數(shù)據(jù)。通過使用專用軟件并與計算機通信，可以進行集中監(jiān)控。

用途

  • CVD 裝置

  • 蝕刻設備

  • 灰化裝置

  • 酒精性肝病 (ALD)、酒精性肝炎 (ALH) 等

規(guī)格

模型HR60HR90HR300HR600HR1200
使用泵決策支持系統(tǒng)HR60HR90HR60HR90HR90
甲基丙烯酸甲酯--PRC-003APRC-006APRC-012A
最大
抽速　		50赫茲立方米/小時（升/
分鐘）		62（1030）112（1860年）359（5,980）653(10,900)1,012(16,900)
60赫茲立方米/小時（升/
分鐘）		80（1333）126（2100）365（6,080）701（11,700）1,051(17,500)
到達圧力出色地50.67　　　　　
最大入口壓力
（吸入壓力）
大氣壓*1
最大排氣口壓力
（排出壓力）		出色地1~大氣壓
進氣口（CE規(guī)格）VG50(KF50)VG80 (KF50)VG80 (KF80)VG100(KF100)
排氣口KF40
質量公斤180245275370420
電力三相交流電壓(赫茲)200(50/60), 220(60)
當前值穩(wěn)定狀態(tài)一個7.1
(200V時)		11.2
(200V時)		7.8
(200V時)		12.9
(200V時)		15.4
(200V時)
最大值一個7.3
(200V時)		11.8
(200V時)		8.1
(200V時)		13.8
(200V時)		18.9
(200V時)
冷卻水暫壓兆帕0.1~0.3
冷卻水進出水壓差兆帕>0.1
冷卻水流量升/分鐘>5.0
吹掃氣體一次壓力兆帕0.1~0.5
二次壓力兆帕0.05~0.1
氮氣吹掃軸空間光調制器5
加斯巴拉空間光調制器0~45

*1 對于 HR300、HR600 和 HR1200，請勿在吸入壓力 200Pa 或更高的情況下連續(xù)運行。




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