MM3E 位置編碼的微納操縱儀

位置編碼的微納操縱儀MM3E以MM3A-EM微納米操縱儀為基礎(chǔ)，具有MM3A-EM相同的緊湊性、精確性和穩(wěn)定性。同時(shí)，MM3E具有閉環(huán)位置反饋功能（closed-loop positional feedback），該功能提高微納米操縱儀的易用性。一鍵定位MM3E的探針到工作（Working）和停留（Parking）位置。

MM3E與市場上幾乎所有的SEM或FIB/SEM兼容。它配備了一個(gè)直觀的拖放式（drag&drop-style）控制軟件，可方便地在SEM或FIB/SEM工具內(nèi)定位探針。

軟件可執(zhí)行坐標(biāo)變換，使MM3E以笛卡爾坐標(biāo)系工作，其重現(xiàn)性僅為幾微米。利用可選的帶編碼的旋轉(zhuǎn)軸，樣品可在工作位置進(jìn)行同心旋轉(zhuǎn)（compucentrically）。

位置編碼的微納操縱儀產(chǎn)品特點(diǎn)：

配有模塊化組件和一系列插件工具的即插即用系統(tǒng)

適用于大多數(shù)SEM/FIB的接口解決方案

輕松使用多個(gè)機(jī)械手

結(jié)構(gòu)緊湊，可實(shí)現(xiàn)更高的共振頻率

幾乎不受振動(dòng)影響

快速手動(dòng)預(yù)定位

寬大的工作范圍（100cm3）

技術(shù)參數(shù)：

X/Y分辨率：0.5nm

Z分辨率：0.02nm

R軸分辨率：0.5e-6°

XYZ重復(fù)性：<2µm

R軸重復(fù)性：<0.02°

漂移：<1nm/min

同心旋轉(zhuǎn)同心度~30µm

應(yīng)用：

原位提?。↖n-situ lift-out）

納米探測（NanoProbing）

微納操縱（NanoManipulation）

Compucentric rotation within a field of view of 30 µm