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干式超聲波清洗機(jī)

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南京博創(chuàng)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司成立于2019年主體經(jīng)營(yíng):1.半導(dǎo)體制造相關(guān)設(shè)備:鍵合/解鍵合設(shè)備/晶圓清洗設(shè)備/涂膠設(shè)備/剝離設(shè)備2.半導(dǎo)體用高清潔傳送設(shè)備:EFEM/Robot/Aligner/Porter3.納米印壓設(shè)備:8寸/12寸全自動(dòng)量產(chǎn)設(shè)備和R&D研發(fā)設(shè)備4.FDP/PLP設(shè)備:SlitCoater+VCD+OVEN+UV解鍵合設(shè)備5.UV系列產(chǎn)品:UV Laser/Excimer UV燈/UVLED燈/牛尾-濱松-ORC照度計(jì) 所在地 :江蘇省南京市棲霞區(qū)(新港開(kāi)發(fā)區(qū))恒泰路6號(hào)

 

172nm準(zhǔn)分子,臭氧發(fā)生器,照度計(jì),Robot,EB照射器

USC全稱(chēng)叫干式超聲波清洗機(jī)

干式超聲波清洗機(jī)由風(fēng)機(jī)柜、清洗頭和連接軟管組成。

通過(guò)風(fēng)機(jī)柜產(chǎn)生的潔凈氣體經(jīng)過(guò)軟管后從清洗頭高速?lài)姵?,氣體經(jīng)過(guò)清洗頭內(nèi)部的超聲波發(fā)生器會(huì)產(chǎn)生高頻聲波。高速氣體和高頻聲波共同作用下,可對(duì)工件表面的微小塵埃進(jìn)行有效清潔。

清洗頭出氣口兩側(cè)設(shè)計(jì)有真空腔,可將清洗頭噴出的氣體回收,噴出氣體清潔工件后所攜帶的微塵也會(huì)回收到風(fēng)機(jī)柜內(nèi)。

1.干式氣體清潔,無(wú)需耗材

2.無(wú)接觸清潔,不損傷工件

3.高效過(guò)濾氣體,不污染工件

4.清洗氣體回收,不影響環(huán)境

5.超聲波發(fā)生器性能衰減

超聲波(ultrasonic )是比人類(lèi)能夠聽(tīng)到的震動(dòng)數(shù),即可聽(tīng)振動(dòng)數(shù)(20 ~ 20,000 Hz)更高的振動(dòng)數(shù)。是指在20kHz以上向哪個(gè)方向振蕩傳送達(dá)音波。 超聲波可以把能量集中到銳角,向一定方向發(fā)射,介質(zhì)不同有如光,具有反射,折射的性質(zhì)。 超聲波可根據(jù)傳播方式,用于深度測(cè)量,醫(yī)學(xué)診斷,清潔及加工等。 頻率高、強(qiáng)度大,明顯比一般聲波波長(zhǎng)短,有方向的對(duì)微小的部分傳達(dá)能量。CTS USC通常發(fā)生40kHz~70kHz的超聲波。

清洗機(jī)能夠透過(guò)空氣層,將聲波的能量傳達(dá)到基板的表面,可以去除十分微小的異物 。

1. CTS USC的特點(diǎn)是 Pressure line中對(duì)空氣進(jìn)行反復(fù)壓縮和膨脹處理,通過(guò)空氣間的互相沖突自然形成的Pressure air超聲波將 Panel 上殘留的Particle 與面板進(jìn)行分離 進(jìn)行清洗的方式。2. 一般,Air knife 對(duì)于清洗微細(xì)粒子具有顯著作用,但是清洗能力只能達(dá)到50%左右,相比較,采用 Ultrasonic Air方式,清洗力能達(dá)到98%以上。


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