PSG500 INFICON英福康中低真空鎳絲皮拉尼真空規(guī)

燈絲

鎢絲

鎢絲

鎳絲

鎢絲

鎳絲

饋入裝置

玻璃

玻璃

玻璃

陶瓷

陶瓷

測(cè)量原理

根據(jù)皮拉尼的熱導(dǎo)率

測(cè)量范圍(空氣、O2、CO、N2)

毫巴

5 × 10-4至1000

精度(N2)

±15%

1 × 10-3… 100毫巴

讀數(shù)%

±50%

5 × 10-4… 1 × 10-3毫巴

讀數(shù)%

±50%

100 … 1000毫巴

讀數(shù)%

2%

可重復(fù)性(空氣) 1 × 10-3… 100毫巴

讀數(shù)%

輸出信號(hào)(測(cè)量信號(hào))

電壓范圍

V

0 … +10.3

測(cè)量范圍

V

V +1.9 … +10.0

電壓與壓力

對(duì)數(shù)1.286 V/decade

錯(cuò)誤信號(hào)

V

0 … +0.5 (燈絲斷裂)

輸出阻抗

Ω

2 × 4.7

最小加載阻抗

kΩ

10，耐短路

響應(yīng)時(shí)間

毫秒

80

真空計(jì)標(biāo)識(shí)

kΩ

27.0，參考電源通用

調(diào)節(jié)

一個(gè)用于ATM和HV調(diào)節(jié)的觸摸開(kāi)關(guān)

設(shè)定值

無(wú)

2

設(shè)定范圍

毫巴

2 × 10-3 … 500

滯后

讀數(shù)%

比下限高出10%

繼電器觸點(diǎn)

伏(直流)/安(直流)

30 / 0.5浮動(dòng)

開(kāi)關(guān)時(shí)間

毫秒

< 20

電源電壓

真空計(jì)處

伏(直流)

+14 … +30

波紋電壓

Vpp

≤1

電流消耗

mA

<500 (最大起始電流)

功耗

W

≤1

電氣連接

FCC 68 / RJ45電器連接器，8極，公頭

傳感器電纜

8極加屏蔽

電纜長(zhǎng)度

米

≤100 (8 × 0.14平方毫米)

暴露于真空的材料

玻璃、Ni、NiFe

DIN 1.4301/1.4305/1.4435

Al2O3、Ni

DIN

1.3981/1.4305/1.4435

燈絲材料

W

W

Ni

W

Ni

內(nèi)部容積

DN 16 ISO-KF、DN 16 CF-R、7/16-20UNF

立方厘米(立

方英寸)

1.5 (0.092)

DN 16 ISO-KF和DN 16 CF-R長(zhǎng)管

立方厘米(立

方英寸)

10 (0.61)

1/8英寸NPT、4 VCR、8 VCR、1/2英寸管

立方厘米(立

方英寸)

2 (0.122)

容許壓力

巴(絕對(duì))

10，限于惰性氣體

容許溫度

操作

℃

+5 … +60

真空連接¹⁾

℃

80 / 250 ²⁾

存儲(chǔ)

℃

–20 … +65

安裝方向

任意

防護(hù)等級(jí)

IP40

重量

DN 16 ISO-KF、7/16-20 UNF

克

80

DN 16 CF-R、4 VCR

克

100

1/8英寸NPT、1/2英寸管

克

70

8 VCR、DN 16 ISO-KF長(zhǎng)管

克

130

DN 16 CF-R長(zhǎng)管

克

140