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MFC300-03A 氣體質(zhì)量流量控制器

具體成交價以合同協(xié)議為準

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愛拓利精準流量測控AITOLY INSTRUMENTS由蘇州愛拓利電 子設(shè)備有限公司及無錫愛拓利電子科技有限公司組成 ??偛刻K州愛拓利位于蘇州市吳江區(qū)柳胥路99號半導(dǎo)體智能 制造創(chuàng)新港。分公司無錫愛拓利成立于2017年,位于無錫新吳區(qū)清源路20號大學(xué)科技園 。愛拓利精準流量測控AITOLY INSTRUMENTS,專業(yè)從事氣體質(zhì)量流量測量與控制 。 愛拓利擁有自己的研發(fā)團隊,具有高水平的產(chǎn)品設(shè)計、結(jié) 構(gòu)、硬件和軟件等研發(fā)能力,是國內(nèi)少數(shù)能夠自主研發(fā)生產(chǎn)高精度氣體質(zhì)量流量計和氣體質(zhì)量流量控制器的企 業(yè) , 更是國內(nèi)極少數(shù)能夠自主研發(fā)生產(chǎn)氣體流量計及流量控制器核心部件( 高精度氣體流量傳感器和高穩(wěn)定性微型比例閥 )的氣體流量控制產(chǎn)品生產(chǎn)廠家。愛拓利質(zhì)量流量計及控 制器被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光 伏、真空鍍膜、生命科學(xué)、燃料電池、精度分析儀器 、石化、制氣 、醫(yī)療 、食品 、工業(yè)自動化控制等行業(yè)。在不斷追求創(chuàng)新和突破的同時,愛拓利十分注重產(chǎn)品品質(zhì)。愛拓利有一套嚴謹科學(xué)的檢測標準和質(zhì)量控制體系,并通過了ISO9001質(zhì)量體系認證。通過標準化生產(chǎn),規(guī)范化管理 ,愛拓利持續(xù)穩(wěn)定地向顧客提供高質(zhì)量的合格產(chǎn)品。通過多年的研發(fā)、生產(chǎn)和應(yīng)用經(jīng)驗積淀,愛拓利先后推出了多款氣體質(zhì)量流量計和控制器。支持多種通訊協(xié)議,氣體種類覆蓋面廣、控制及測量精度高 、響應(yīng)速度快、性能穩(wěn)定 。

 

氣體流量計

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 產(chǎn)品種類 質(zhì)量式
價格區(qū)間 面議 介質(zhì)分類 氣體
應(yīng)用領(lǐng)域 綜合

MFC300-03A 氣體質(zhì)量流量控制器,該系列采用 MEMS 流量傳感器,自帶溫度和壓力補償。具有響應(yīng)速度快,寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。

氣體質(zhì)量流量控制器


MFC300-03A 氣體質(zhì)量流量控制器工作原理


產(chǎn)品特點

超快響應(yīng):5ms 測量響應(yīng),300ms控制響應(yīng)

高重復(fù)性,寬量程比

更小體積,安裝方便

無需預(yù)熱,使用便捷

分階流量控制軟件,靈活配置


主要參數(shù)
  • 介質(zhì)要求
    潔凈干燥無腐蝕性氣體
  • 氣體種類
    Air,N2,02,Ar,CH4,CO2
  • 量程
    0-5,10,20,50,100,300,500 sccm;0-1,2,3,4,5 slpm
  • 測量和控制范圍
    0.2%-100%F.S. (1:500)
  • 準確度
    ±0.5%F.S.
  • 重復(fù)精度
    ±0.5%F.S.
  • 線性度
    ±0.2%F.S.
  • 分辨率
    0.1 sccm,0-1000 sccm;1 sccm,1-5 slpm (0.01 sccm,0-50 sccm可選)
  • 傳感器響應(yīng)時間
    5ms
  • 控制響應(yīng)時間
    300ms
  • 預(yù)熱時間
    ≤1s
  • 閥門
    常閉式
  • 泄漏率
    1*10-11Pa.m3/sec He




機械特性
  • 最大工作壓力
    1.1 MPa(11bar)
  • 工作壓差范圍
    0-1 MPa
  • 工作溫度范圍
    0-65℃(環(huán)境和氣體)
  • 溫度范圍
    0 - 98%無凝露
  • 氣路接頭類型
    快插、快擰、卡套、VCR(可選)
  • 氣體接觸材質(zhì)
    氟橡膠、黃銅、300-系列不銹鋼、硅
  • 密封材質(zhì)
    氟橡膠 FKM
  • 防護等級
    IP40
  • 安裝方式
    任意方向安裝
  • 固定孔
    M4 ↓ 5mm
  • 重量
    0.38kg


電氣和通訊
  • 電氣連接接口類型
    DB-9 male
  • 模擬信號
    0 - 5 VDC,4-20mA(可定制)
  • 輸入輸出阻抗
    輸入阻抗>10MΩ,輸出阻抗<600Ω
  • 量程
    0-2,10,20,30,100,300,500sccm
    0-1,2,5,10,20,30slpm
  • 通信速率
    9600(默認),14400,19200,38400 bps(用戶可修改)
  • 電源
    15-40 VDC,100 mA



特征
  • 標況
    20℃,1 atm
  • 氣體選擇
    可選,具體參考說明書氣體系數(shù)
  • 軟件
    Aitoly分階流量軟件



尺寸
滿量程深度ABCDE重量
5 sccm~5 slpm66.20 mm51.00 mm39.00 mm43.70 mm27.40 mm4.30 mm5.80 mmM4 ↓ 5 mm≈0.38 kg
2.606 in2.008 in1.535 in1.720 in1.079 in0.169 in0.228 inM4 ↓ 0.197 in≈0.84 lb



氣體質(zhì)量流量控制器
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氣體質(zhì)量流量控制器






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