TED-408PF 線性快速溫變箱半導(dǎo)體工藝改進(jìn)的驗證平臺
參考價 | ¥ 185000 |
訂貨量 | ≥50000臺 |
- 公司名稱 廣東皓天檢測儀器有限公司
- 品牌 廣皓天
- 型號 TED-408PF
- 產(chǎn)地 廣東省東莞市常平鎮(zhèn)常平中信路101號1號樓102室
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/12/18 11:56:33
- 訪問次數(shù) 136
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小型環(huán)境箱,高低溫箱,恒溫恒濕箱,交變濕熱箱,復(fù)層式高低溫箱,三層式恒溫恒濕箱,快速溫度變化箱,冷熱沖擊箱,紫外線老化箱,工業(yè)烤箱,精密烘箱,真空干燥箱,防爆烤箱,淋雨試驗箱,擺管淋雨試驗裝置,滴水試驗裝置,砂塵試驗箱,三綜合(溫濕+振動)箱,高低溫低氣壓箱,大型步入式試驗箱,步入式恒溫恒濕室,老化房,鹽霧試驗箱,復(fù)合式鹽霧試驗室,模擬運輸振動臺,跌落試驗機(jī)等,
產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 5萬-10萬 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 石油,電子,航天,汽車,電氣 | 溫度范圍 | -70℃~150℃ |
濕度范圍 | 20%RH~98%RH | 溫度波動范圍 | ±0.3℃(-70℃~+100℃) |
溫度均勻性 | ±1.0℃(-70℃~+100℃) | 升溫時間 | 非線性5℃ |
降溫時間 | 非線性5℃ | 工作室尺寸 | 600×800×850mm |
外形尺寸 | 850×1500×2030mm | 電源電壓 | 380V |
工藝改進(jìn)的驗證平臺:在半導(dǎo)體制造過程中,新的工藝步驟或材料的引入可能會影響產(chǎn)品在溫度變化環(huán)境下的性能。快速溫變試驗箱可以作為驗證新工藝的平臺。例如,當(dāng)采用一種新的芯片互連材料后,通過在試驗箱中模擬不同的溫度變化場景,對使用新工藝制造的芯片進(jìn)行測試,與傳統(tǒng)工藝制造的芯片進(jìn)行對比,評估新工藝是否能夠提高芯片在溫度變化環(huán)境中的可靠性,從而為工藝改進(jìn)提供數(shù)據(jù)支持。
快速溫變試驗箱主要用于模擬產(chǎn)品在極-端或快速變化的溫度環(huán)境下的性能表現(xiàn)。在電子、汽車、航空航天等領(lǐng)域,用于檢測電子產(chǎn)品、零部件、材料等對溫度變化的耐受性,幫助企業(yè)優(yōu)化產(chǎn)品設(shè)計、提高產(chǎn)品質(zhì)量和可靠性。
線性快速溫變箱半導(dǎo)體工藝改進(jìn)的驗證平臺
在半導(dǎo)體行業(yè)追求工藝的征程中,線性快速溫變箱作為關(guān)鍵的驗證平臺,發(fā)揮著不可替代的作用。
此溫變箱擁有溫度調(diào)控精度與超寬的溫度范圍,可從 -100℃至 300℃精準(zhǔn)設(shè)定,線性溫變速率高達(dá) 20℃/min 以上。無論是模擬半導(dǎo)體制造過程中的高溫退火、低溫沉積等工藝步驟,還是快速切換不同工藝溫度環(huán)境,都能精準(zhǔn)實現(xiàn)。這為新工藝的驗證提供了豐富多樣的溫度條件,可全面檢驗新工藝在不同熱環(huán)境下對半導(dǎo)體器件性能與結(jié)構(gòu)的影響。
其內(nèi)部溫場均勻性好,各點溫度偏差極小,確保在驗證工藝時,整個半導(dǎo)體樣品能均勻受熱,避免因局部溫度差異造成的誤判,使工藝改進(jìn)效果的評估更加可靠。
先進(jìn)的控制系統(tǒng)具備強(qiáng)大的編程功能,可輕松設(shè)定復(fù)雜的溫度變化程序,模擬實際生產(chǎn)中的多步工藝溫度曲線,并實時監(jiān)控與記錄工藝過程中的各項數(shù)據(jù),如溫度變化、樣品電學(xué)特性等,為工藝優(yōu)化提供詳盡的分析依據(jù)。
同時,完備的安全防護(hù)體系,包括超溫保護(hù)、斷電保護(hù)與故障預(yù)警等,保障設(shè)備在長時間、高強(qiáng)度的工藝驗證過程中的穩(wěn)定運行,降低研發(fā)風(fēng)險。
線性快速溫變箱憑借其出色的性能,成為半導(dǎo)體工藝改進(jìn)驗證的核心利器,有力推動半導(dǎo)體工藝技術(shù)的創(chuàng)新與升級,為行業(yè)發(fā)展注入強(qiáng)大動力。
線性快速溫變試驗箱主要由箱體、制冷系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)、循環(huán)風(fēng)道、溫度控制系統(tǒng)和樣品架等部分構(gòu)成。
箱體采用隔熱性能良好的材料,減少熱量散失與外界干擾。制冷系統(tǒng)通常包含壓縮機(jī)、冷凝器、蒸發(fā)器等部件,利用制冷劑循環(huán)實現(xiàn)降溫功能,可滿足低溫環(huán)境模擬需求。加熱系統(tǒng)一般為電加熱絲等,能快速提升箱內(nèi)溫度。循環(huán)風(fēng)道設(shè)計科學(xué),在風(fēng)機(jī)作用下,使箱內(nèi)空氣均勻循環(huán),保證溫場均勻性。溫度控制系統(tǒng)借助高精度傳感器與優(yōu)良控制器,精確設(shè)定、監(jiān)測并調(diào)節(jié)溫度變化,確保線性溫變的精準(zhǔn)度。樣品架則用于放置被測芯片等樣品,使其處于穩(wěn)定的測試環(huán)境中,各部分協(xié)同工作,以實現(xiàn)對產(chǎn)品在不同線性溫變條件下性能的有效檢測。