化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>集成電路測試與分選設(shè)備>探針臺>LH-CPRS-EMHF 電磁鐵水平磁場低溫探針臺 溫控測量系統(tǒng)
LH-CPRS-EMHF 電磁鐵水平磁場低溫探針臺 溫控測量系統(tǒng)
參考價 | ¥30000-¥200000/件 |
- 公司名稱 北京德世科技有限公司
- 品牌其他品牌
- 型號LH-CPRS-EMHF
- 所在地北京市
- 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
- 更新時間2024/12/20 16:00:46
- 訪問次數(shù) 181
聯(lián)系方式:孫經(jīng)理15611258074 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
電磁鐵水平磁場低溫探針臺 溫控測量系統(tǒng)。LH-CRPS-EMHF是一款無需消耗制冷劑,依靠制冷機(jī)提供冷源的閉循環(huán)低溫磁場探針臺,配1T水平磁場,實現(xiàn)樣品面內(nèi)增加磁場。此款低溫探針臺設(shè)計的初衷就是多功能和優(yōu)秀的專業(yè)測量性能,為制冷劑獲得比較困難和追求操作便利的客戶提供了一個優(yōu)秀的解決方案。通過閉循環(huán)制冷機(jī)降溫,降溫過程中不需要其它輔助設(shè)備,只需要很少的電能即可,也不需要科研人員值守操作。
豐富的選件和配置確??蒲腥藛T能夠?qū)嵤﹪?yán)苛的、富有挑戰(zhàn)的測試測量。LH-CRPS-EMHF可實現(xiàn)最大面內(nèi)磁場1T的情況下,實施C-V、I-V、微波、及磁輸運(yùn)等測量測試。多個溫度傳感器分布于探針臺各個位置,確保溫度監(jiān)視和測量的準(zhǔn)確性和重復(fù)性。由于是二級制冷平臺制冷機(jī)提供冷源,這樣能保證樣品溫度維持在相對較高的溫度,同時樣品處于真空環(huán)境中,減少了凝結(jié)的可能性,在一些有機(jī)材料的嚴(yán)格測試要求中這一點比較重要。
LH-CRPS-EMHF最大可安裝樣品臺直徑25mm(1in),在蕞低溫度8K時可實現(xiàn)樣品臺360度旋轉(zhuǎn),可測量磁場相關(guān)的各項異性參數(shù)。
電磁鐵水平磁場低溫探針臺 溫控測量系統(tǒng)
探針臺原理及應(yīng)用
德世的低溫探針臺為材料早期無損電性能測量提供了一個精準(zhǔn)的低溫磁場環(huán)境。探針臺是物理科學(xué)家和研究人員對材料研究的有利便捷工具、并且測試測量重復(fù)性一致性比較好。探針臺也可以作為一個靈活多用的公共測試平臺。典型的應(yīng)用包括不同溫度下普遍的IV和CV曲線、微波測量、光電響應(yīng)、電輸運(yùn)特性、霍爾效應(yīng)測試以及其他類型的材料研究。
德世低溫探針臺提供了眾多的測試環(huán)境,可根據(jù)研究人員的需要自行選擇對應(yīng)型號,以滿足研究人員多樣化的應(yīng)用需求。從通用平臺到專業(yè)平臺,每個德世探針臺都經(jīng)過精心設(shè)計,以確保在整個溫區(qū)范圍內(nèi)穩(wěn)定運(yùn)行和可靠的測量。
特點
◆無需消耗制冷劑
◆全程無值守降溫
◆豐富的選件和配件
◆1T磁場環(huán)境下實現(xiàn)標(biāo)準(zhǔn)測量
◆在任何溫度下均可實現(xiàn)最大磁場
◆可選360°自由旋轉(zhuǎn)樣品
溫度結(jié)構(gòu)
1.兩級制冷平臺制冷機(jī)提供冷源,一級制冷平臺冷卻輻射屏,二級制冷平臺冷卻樣品臺
2.防輻射屏包圍著樣品臺,頂端帶有可視窗口,安裝紅外吸收石英窗片
3.兩級制冷平臺制冷機(jī),在4.2K時有1.2W的制冷量
磁場:
◆磁場類型:電磁場
◆磁場方向:水平磁場,平行于樣品表面
◆磁場控制:安裝霍爾傳感器,實現(xiàn)閉環(huán)控制
◆磁感應(yīng)強(qiáng)度:±1T
◆磁場均勻性:0.6%中心10mm直徑球體;2.5%中心20mm直徑球體
溫度屬性 | ||
蕞低溫度 | 控溫范圍 | 配置 |
7K | 8K-400K | 4個探針臂 |
8K | 9K-400K | 6個探針臂 |
控溫穩(wěn)定性 | |
溫度范圍 | 穩(wěn)定性 |
zui低溫不控溫 | |
<10K | ±50mK |
10K-100K | ±20mK |
100K-250K | ±20mK |
250K-350K | ±20mK |
350K-500K | ±50mK |
真空性能 | |
室溫 | <5X10-3Pa |
zui低溫 | <5X10-4Pa |
最高溫 | <5X10-2Pa |
注:以上數(shù)據(jù)使用600L渦輪分子泵組得到 |
樣品振動 | |
X方向 | <5μm |
Y方向 | <5μm |
Z方向 | <1μm |
注:可選低振動配置,各方向振動<1μm |
時間參數(shù):
◆抽空時間:0.5h(與泵組相關(guān))
◆降溫時間:從室溫到蕞低溫2.5h
◆升溫時間:從蕞低溫到室溫1.5h
樣品臺:
◆標(biāo)準(zhǔn)樣品臺:25mm(2in)
◆最大樣品臺:25mm(2in)
◆樣品臺背光:無
◆樣品臺類型:三同軸樣品臺(選配)、接地樣品臺(標(biāo)配)、360°
旋轉(zhuǎn)樣品臺(選配)
探針:
◆探針數(shù)量:最多6個
◆探針傳感器:硅二極管,監(jiān)視探針溫度
◆探針托溫度:<20K樣品臺處于蕞低溫度
◆探針熱沉:熱沉到樣品臺或者相同溫度的防輻射屏
◆探針臂:熱沉到防輻射屏
◆DC/RF探針:絕緣電阻>100GΩ,漏電流<100fA
◆微波探針:DC到67GHz,用于微波測量
◆光纖探針:用于光電測量,可選FC/APC或者SMA905接口,波長可選
探針位移:
◆X方向行程:50mm,移動分辨率3μm
◆Y方向行程:25mm,移動分辨率5μm
◆Z方向行程:25mm,移動分辨率5μm
顯微鏡配置
3400萬像素CCD相機(jī)
支持4K視頻錄制
4條水平線4條垂直線,帶測量軟件
標(biāo)準(zhǔn)HDMI接口
電子縮放1x-10x
景深同軸光鏡頭,帶LED同軸光源
光學(xué)倍數(shù)0.7-5X,,連續(xù)變倍比7.1:1
電子倍數(shù)20-200x
成像距離140-180mm
景深高度:10mm
觀看面積1mm-18mm
工作距離:37.5mm-160mm
數(shù)值孔徑NA:0.018-0.092
分辨率:18.6μm-3.65μm
視場:0.99mm-34.28mm★★
物鏡可選
顯示器尺寸:21.5英寸
制冷劑消耗:
◆室溫到蕞低溫度:不需要
◆液氦消耗(5K):不需要
◆液氮消耗(80K):不需要
探針臺配置
溫 度 配 置 | |
樣品臺傳感器加熱器 | Cernox傳感器、100W加熱器 |
防輻射屏傳感器加熱器 | 硅二極管傳感器、100W加熱器 |
二級制冷平臺傳感器加熱器 | 硅二極管傳感器、100W加熱器 |
探針臂傳感器 | 硅二極管傳感器(安裝在其中一個針臂) |
溫 度 控 制 | |
控溫儀型號 | LH102C控溫儀 |
低溫輸液管 | 不需要 |
低溫液體儲存罐 | 不需要 |
支 架 | |
支架尺寸 | 長寬高600X600X630mm(不含地腳) |
地腳 | 4個橡膠減振地腳,承重500公斤 |
桌面 | 長寬厚650X650X20mm |
真 空 腔 體 | |
材料 | 鋁本色氧化(可選不銹鋼電鍍鉻) |
長寬高 | 250X200X233mm |
可視窗凈尺寸 | φ50毫米,紅外吸收石英窗口 |
真空抽口 | KF16 |
直空閥門 | KF16手動擋板閥 |
放氣閥 | 手動放氣閥 |
預(yù)留接口 | 預(yù)留通用安裝接口 |
探針引出口 | 六個真空三同軸接口(DC探針,選擇其它探針,接口不同) |
防 輻 射 屏 | |
材料 | 銅鍍金 |
可視窗凈尺寸 | 45mm,配紅外吸收窗口 |
抽 空 泵 組 | |
分子泵組 | 可選(客戶可自備) |
機(jī)械泵組 | 可選(客戶可自備) |
抽 空 減 振 塊 | |
抽空減振塊 | KF25進(jìn)出氣口,重量20公斤 |
配 電 要 求 | |
單相電壓 | 220V/50Hz |
單相功率 | 1KW |
三相電壓 | 三相五線制,380V/50Hz |
三相功率 | 8KW |
水 冷 要 求 | |
制冷功率 | 10KW@25℃ |
水流量 | 7L-10L/min(28℃) |
三相電壓 | 三相五線制,380V/50Hz |
三相功率 | 5KW |
樣品托
接地樣品托
直接安裝在樣品臺,盡量減小對樣品的溫度梯度,與整個探針臺電器接通
注:可選圓形和方形,性能無差異
同軸樣品托
樣品托表面與探針臺整體電器絕緣,通過BNC接口穿過真空室
注:可選圓形和方形,性能無差異
注:可選圓形和方形,性能無差異
樣品托配置
類型 | 接口 | 尺寸 | |
設(shè)備包括 | 接地樣品托 |
無 | φ51mm(2in) |
選件 | 接地樣品托 | φ51mm(2in) | |
同軸樣品托 | BNC | φ51mm(2in) | |
三同軸樣品托 | TRIAX | φ51mm(2in) | |
注:其它尺寸樣品托接受定制 |
樣品托性能
電絕緣 | 溫差 | 溫度 | |
接地樣品托 | 導(dǎo)通 | 0.1K-0.2K | 400K |
同軸樣品托 | >100MΩ | ≈1K | 400K |
三同軸樣品托 | >100GΩ | ≈1K-2K | 400K |
1.電絕緣測試是在10V電壓情況下,測量導(dǎo)電面之間的電阻 2.溫差是樣品托表面和樣品臺之間存在的溫差。樣品的熱接觸好壞以及樣品大小,都會對溫差產(chǎn)生影響,熱接觸不充分樣品負(fù)載大,會增加溫差。 |
接口
BNC | 同軸樣品托-配2耳BNC真空接口以極低溫同軸線纜 |
TRIAX | 三同軸樣品托-配3耳三同軸真空接口以及低溫同軸線 |
探針臂配置
德世標(biāo)準(zhǔn)的微操作針臂,能安裝各種類型的探針,滿足絕大部分科研需求,實現(xiàn)直流、射頻、微波以及光學(xué)測量。
靈活容易擴(kuò)展的探針集合
微操作針臂可以在全溫區(qū)、真空環(huán)境、磁場環(huán)境下使用
可以配置在德世任意款探針臺上
磁場探針臺中更換成無磁材料針臂
針臂上安裝一個標(biāo)準(zhǔn)溫度傳感器,可以接受定制傳感器類型
探針配置及用途
通用DC | 小信號低噪聲DC測量 |
高阻DC | 高阻抗低漏電流測量 |
RF-1GHz | KHz和MHz級別的測量,測量帶寬高達(dá)1GHz??梢陨壍絉F/微波-40GHz測量,需要購買一個GSG探針 |
RF/微波-40GHz | 可實現(xiàn)高達(dá)40GHz的測量,同時也能實現(xiàn)兼容DC測量 |
RF/微波-67GHz | 可實現(xiàn)高達(dá)67GHz的測量,同時也能實現(xiàn)兼容DC測量 |
光纖探針 | 給樣品通光或者從樣品采集光,可選波長,可選FC/APC或者SMA905接口 |
探針硬件配置
接口 | 探針 | 內(nèi)部線 | 水平角度 | 定制 | |
通用DC | 3耳BNC | SMA低溫探針 | 微型低溫同軸線,屏蔽層接地 | ±5° | 探針針尖和直徑 |
高阻DC | 3耳triaxial | SMA低溫探針 | 微型低溫同軸線,屏蔽層接三同軸GUARD | ±5° | 探針針尖和直徑 |
RF-1GHz | 2.92mm(K型連接器) | SMA低溫探針 | 2.92mm半剛性低溫同軸線,屏蔽層接地 | ±5° | 探針針尖和直徑 |
RF/微波-40GHz | 2.92mm(K型連接器) | 40G-GSG探針 | 2.92mm半剛性低溫同軸線,屏蔽層接地 | ±5° | GSG針尖距離 |
RF/微波-67GHz | 1.85mm(Z型連接器) | 67G-GSG探針 | 1.85mm半剛性低溫同軸線,屏蔽層接地 | ±5° | GSG針尖距離 |
光纖探針 | FC/APC或SMA905 | 無 | 光纖 | ±5° | 類型、波長、入射角 |
探針定位
X軸 | Y周 | Z軸 | |
行程 | 75mm(2in) | 25mm(0.5in) | 25mm(0.5in) |
精度 | 3μm | 5μm | 5μm |
SMA低溫專用探針
德世為低溫探針臺設(shè)計專用探針,探針具有強(qiáng)大的通用性,能實現(xiàn)直流偏置、低/高頻測量、低噪聲屏蔽和低漏電流測量。SMA低溫探針主體由陶瓷或者FR4制作,低溫焊料焊接SMA接口,50歐姆阻抗傳輸線,可配置鎢、P7或者鈹銅探針,無氧銅熱沉帶,熱沉到樣品臺
型號 | 材料 | 針尖直徑(µm) |
SMA-05D-01-W | 鎢 | 1 |
SMA-05D-05-W | 5 | |
SMA-05D-10-W | 10 | |
SMA-05D-20-W | 20 | |
SMA-05D-100-W | 100 | |
SMA-05D-01-BC | 鈹銅 | 1 |
SMA-05D-05-BC | 5 | |
SMA-05D-10-BC | 10 | |
SMA-05D-20-BC | 20 | |
SMA-05D-100-BC | 100 | |
SMA-05D-01-P7 | Paliney7合金 | 1 |
SMA-05D-05-P7 | 5 | |
SMA-05D-10-P7 | 10 | |
SMA-05D-20-P7 | 20 | |
SMA-05D-100-P7 | 100 |
針尖材料 | 描述 | 應(yīng)用 | 導(dǎo)電性 | 接觸電阻 | 壽命 |
鎢(W) | 常用,耐用 | 適用各種樣品表面,能穿透氧化層 | 好 | 小 | 長 |
鈹銅(BC) | 常用,接觸電阻小 | 沉金焊盤pad | 優(yōu) | 最小 | 長 |
paliney7合金(P7) | 專用,接觸電阻小 | 精密的焊盤pad | 好 | 小 | 長 |