XLD-40K-M9 江崎供應(yīng)日本SMC氣動(dòng)真空閥

江崎供應(yīng)日本SMC氣動(dòng)真空閥XLD-40K-M9

高真空角（L 形）閥，用于防止泵在過(guò)載時(shí)運(yùn)行。

[功能]

·初始排氣閥和主排氣閥一體化（兩段式流量控制閥）

? 實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)緊湊化和節(jié)省

配管? 排氣時(shí)防止灰塵在腔室內(nèi)卷起

? 初始排氣閥流量可調(diào)

? 氣動(dòng)型/帶電磁閥

? 由于排氣量少，因此泵容量小，可縮短

排氣時(shí)間? 不含Ni（鎳）和Cr（鉻）等重金屬，濺射率低，因此晶圓

上的重金屬污染很少? 強(qiáng)氟

·均勻的烘烤溫度。導(dǎo)熱性好，全身溫度均勻，大大降低產(chǎn)品粘附

性重量輕、結(jié)構(gòu)緊湊

江崎供應(yīng)日本SMC氣動(dòng)真空閥XLD-40K-M9

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