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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>配件耗材>其它儀器配件耗材>其它儀器配件>XRM-1203M-193 Lambda準(zhǔn)分子激光反射鏡 輸出波長193nm

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XRM-1203M-193 Lambda準(zhǔn)分子激光反射鏡 輸出波長193nm

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 深圳維爾克斯光電有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 XRM-1203M-193
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時間 2025/2/6 17:56:56
  • 訪問次數(shù) 29

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維爾克斯光電(www.highlightoptics.com)專業(yè)代理歐美激光器、光譜儀、光電測試分析儀器和光電元器件。憑借強(qiáng)力的專業(yè)技術(shù)背景和多年的行業(yè)經(jīng)驗(yàn),維爾克斯能夠滿足客戶不同的應(yīng)用要求,精準(zhǔn)地為客戶提供高性價比的解決方案,并保證設(shè)備及時安裝、調(diào)試和故障排除。

我們提供自主開發(fā)的:微透鏡陣列、分束鏡、工程散射片、螺旋相位片、結(jié)構(gòu)光模組、離軸拋物面鏡、掃擺鏡、中空回射器、太赫茲透鏡、太赫茲窗口鏡、分辨率板、太赫茲鏡頭、激光防護(hù)眼鏡。

以色列Holoor公司衍射光學(xué)元件,光束整形器、高斯整平頂DOE、勻光鏡、勻化器、寬帶散射片、分束鏡、多焦點(diǎn)DOE、長焦深DOE、玻璃切割模組、定制衍射元件;

德國Holoeye公司結(jié)構(gòu)光DOE、激光散斑、隨機(jī)點(diǎn)陣、定制衍射元件;

德國ADLoptica光束整形器,pishaper光纖激光平頂整形,πshaper激光整形器;

美國RPC Photonics公司螺旋相位板、微透鏡陣列、工程散射片,工程漫射體,擴(kuò)散片;

美國Thorlabs,Edmund離軸拋物面鏡,微透鏡,激光防護(hù)鏡;

丹麥NILT納米壓印模板,微加工掩膜,納米壓印機(jī),硅模板,石英母版;

 

美國NOIR激光防護(hù)眼鏡,激光防護(hù)鏡,激光護(hù)目鏡常用型號:ARG, EC2, YG3, DBD, YG2, FG1, DBY, ND1, YLW;

德國Laservision激光護(hù)目鏡,激光防護(hù)鏡,激光防護(hù)玻璃,激光防護(hù)簾;

以色列DUMA公司 Spoton系列激光位置測量儀,Beamon光斑分析儀,光束分析儀,激光準(zhǔn)直儀, Autocollimator,內(nèi)調(diào)焦自準(zhǔn)直儀,Alignmeter激光位置角度測量儀;

法國Phaseview公司M2儀,光束質(zhì)量分析儀,激光輪廓儀,激光波前測量儀;

立陶宛Optogama公司紅外熱像儀(可替代7215紅外熱像儀)、紅外相機(jī)、紅外觀察儀、4lasers鏡片、晶體、擴(kuò)束鏡、人眼安全激光器;

美國Dataray光斑分析儀,光束分析儀,M2儀,紅外光斑分析儀;

白俄羅斯Solar Laser公司SHR波長計(jì),SHR-IR激光波長計(jì),低重頻大能量固體激光器;

加拿大Gentec功率計(jì),能量計(jì),太赫茲探測器;

     

美國Chroma公司濾光片、濾光片盒子、濾光片套裝、FISH濾光片、窄帶濾光片、拉曼濾光片;

美國Adnover公司濾光片,定制濾光片,超窄帶濾光片;

德國BATOP可飽和吸收鏡,SESAM,可飽和吸收耦合輸出鏡,共振可飽和吸收鏡,可飽和吸收體SA,太赫茲聚焦鏡,激光芯片,微芯激光器;

德國B.Halle公司消色差波片、超寬帶消色差波片;

美國Innovation Photonics中紅外聚焦鏡,中紅外隔離器,紅外光纖,紅外偏振片,光纖耦合透鏡;

德國Layertec飛秒激光鏡片,皮秒激光鏡片、寬帶鏡、啁啾鏡、GT干涉鏡;

美國DRO,Design research optics二氧化碳鏡片,ZnSe反射鏡,硒化鋅透鏡,CO2合束鏡、CO2分束鏡;

美國LRO,Laser Research Optics分光鏡、合束器、全反射鏡、部分反射鏡、金屬反射鏡、輸出耦合鏡、零相位延遲片、部分相位延遲片;

德國Femto Fiber公司布拉格光纖光柵;

 

美國Minusk隔震臺,減震平臺,精密隔振平臺,原子力顯微鏡隔振臺;

德國Marzhauser公司(MW)顯微鏡載物臺,手動顯微鏡平移臺;

英國PRIOR顯微鏡平臺,顯微鏡載物臺,顯微鏡電動平臺,納米電動平臺,自動上片機(jī),自動對焦系統(tǒng);

加拿大Zaber電控平移臺,線性致動器,旋轉(zhuǎn)臺,真空平移臺,內(nèi)置編碼器和驅(qū)動器的位移臺;

法國Piezoconcept納米平臺,納米壓電平臺;

芬蘭Sensapex微操作器,微操作系統(tǒng);

 

加拿大Sicencetech太陽光模擬器,AA*太陽光模擬器,光伏測試系統(tǒng),紅外光譜儀;

美國TTI公司C995光學(xué)斬波器,光纖脈沖轉(zhuǎn)換器,模擬信號收發(fā)器,O/E轉(zhuǎn)換模塊探測器;

美國Phase Photonics紅外光譜儀,中紅外光譜儀;

美國Scientech公司精密電子天平,激光功率計(jì);

 

荷蘭Anteryon CP-332/CP-544激光器,非球面鏡;

德國Advanced Laser Diode Systems(ALSG)半導(dǎo)體皮秒激光器,可單模光纖、單光子輸出;

德國Frankfurt Laser公司各類激光器及激光配件;

德國Alphalas公司激光器,可調(diào)諧波片,寬帶可調(diào)波片,超快探測器UPD;

美國Photonics Industries公司(PI)納秒激光器,皮秒激光器,高功率,高能量;

日本Oxide公司266nm激光器,波長轉(zhuǎn)換器,晶體,激光組件;

立陶宛Eksma,Ekspla公司光纖激光器,超短脈沖選擇器,普克爾斯盒;

 

美國Terasense太赫茲相機(jī),太赫茲源, THz人體安檢儀,超快太赫茲探測器;

德國Menlo公司飛秒光纖激光器,太赫茲時域光譜系統(tǒng),飛秒激光同步激發(fā)的太赫茲光譜系統(tǒng),光學(xué)頻率合成器、光梳;

瑞士Rainbow Photonics太赫茲時域光譜系統(tǒng)(1-14THz),可調(diào)諧太赫茲源,THz有機(jī)晶體;

俄羅斯Tydex公司太赫茲光學(xué)元件、太赫茲透鏡、太赫茲波片、TH分光片、TH濾光片、太赫茲衰減片、太赫茲衍射鏡片,Golay Cell 高萊探測器;

西班牙NIT,德國TrinamiX,芬蘭Emberion,英國Redwavelabs紅外探測器。

 

俄羅斯SmarTThermoelectrics半導(dǎo)體制冷片,單極TEC,多極TEC熱電模塊;

德國Jutec耐高溫手套,隔熱手套,熱防護(hù)服;

美國AppliedImage公司圖像測試卡、ISO 測試卡 、圖像質(zhì)量分析軟件、Bar Code條形碼校正;

還代理英國Laser2000,德國Pleiger Laseroptik,立陶宛Optogama,美國Precision Laser Scanning等廠家;

 

油脂分析儀,石油分析儀,激光眼鏡,光學(xué)配件

供貨周期 一個月 規(guī)格 標(biāo)準(zhǔn)品
應(yīng)用領(lǐng)域 綜合 主要用途 激光光學(xué)

ArF(193nm),反射率>97%、耐酸/氟的193/248/308nm反射鏡

Lambda Research Optics由從事電子光學(xué)業(yè)務(wù)超過25年的專業(yè)人士創(chuàng)立,專注于生產(chǎn)用于從真空紫外到遠(yuǎn)紅外整個光學(xué)光譜的光學(xué)元件。Lambda對光學(xué)、光學(xué)材料和光學(xué)鍍膜具備一定的能力,可為客戶提供研究、開發(fā)或產(chǎn)品制造所需的光學(xué)元件。Lambda準(zhǔn)分子激光反射鏡 輸出波長193nm

美國Lambda準(zhǔn)分子反射鏡分為腔內(nèi)反射鏡(XRM/XOC)和腔外反射鏡(XHR/XPR)ArF(193nm)KrF(248nm)XeCl(308nm)準(zhǔn)分子激光反射鏡可用于微光刻、微制造和醫(yī)療設(shè)備等應(yīng)用。氟化氬準(zhǔn)分子激光器可產(chǎn)生193nm的短波長輸出,這對于追求更精細(xì)分辨率的微光刻領(lǐng)域非常重要,此波長下,建議使用氟化鈣或氟化鎂基底作為腔內(nèi)透射光學(xué)元件。后腔反射鏡(Excimer Cavity Rear Mirrors (XRM))在激光波長下的反射率至少為97%。另外,用戶可選擇輸出耦合器的反射率。值得關(guān)注的是,Lambda高質(zhì)量準(zhǔn)分子激光腔鍍膜涂層是專為耐酸/(Acid/Fluorine resistance)而設(shè)計(jì)的。

腔外反射鏡(extra-cavity mirrors)用于氟化氬準(zhǔn)分子激光器,它們使用紫外熔融石英襯底,輸出波長為193nm。在短波長下工作時,高質(zhì)量的涂層和高的潔凈度至關(guān)重要,這些反射鏡在正常入射時的非偏振反射率至少為97%,在45°入射時為96%。部分反射率可由用戶選擇。


準(zhǔn)分子激光反射鏡 Lambda的主要特點(diǎn):

腔內(nèi)反射鏡和輸出耦合鏡(XRM/XOC)特征:

- 氟化氬準(zhǔn)分子激光光學(xué)器件

- 氟化鈣或氟化鎂基底

- 反射率>97%


腔外反射鏡和部分反射鏡(XHR/XPR)特征:

- 腔外轉(zhuǎn)向鏡Extra-Cavity Turning Mirrors

- 正常或45°入射角

- 高反射率或部分反射率


308/248/193nm反射鏡的規(guī)格:

規(guī)格

描述

材質(zhì)Material

XRM/XOC:紫外MgF?/紫外CaF?

XHR/XPR:準(zhǔn)分子級熔融石英

表面質(zhì)量

XRM/XOC<20/10

XHR/XPR<10/5

曲率半徑

表面平整度

< λ/10@633 nm

直徑公差

< +0.00/– 0.20 mm

厚度公差

< ±0.25 mm

清晰光圈

 85% of diameter

損傷閾值

>1.2J/cm2, 10 ns

耐用性

符合MIL-C-675標(biāo)準(zhǔn)的附著力和耐磨性要求














Lambda準(zhǔn)分子激光反射鏡 輸出波長193nm

93nm準(zhǔn)分子反射鏡和輸出耦合鏡XRM/XOC型號參數(shù):

MgF2

CaF2

直徑

厚度 (mm)

運(yùn)行參數(shù)

腔內(nèi)反射鏡Rear Cavity Mirror

XRM-1203M-193

XRM-1203CU-193

0.50"

3.0

97%

XRM-2003M-193

XRM-2003CU-193

20mm

3.6

97%

XRM-2503M-193

XRM-2503CU-193

1.00"

3.0

97%

XRM-3605M-193

XRM-3605CU-193

36mm

5.5

97%

XRM-3805M-193

XRM-3805CU-193

1.50"

5.5

97%

XRM-5009M-193

XRM-5009CU-193

2.00"

9.5

97%

輸出耦合反射鏡Output Coupler

XOC-1203M-*R-193

XOC-1203CU-*R-193

0.50"

3.0

*

XOC-2003M-*R-193

XOC-2003CU-*R-193

20mm

3.6

*

XOC-2503M-*R-193

XOC-2503CU-*R-193

1.00"

3.0

*

XOC-3605M-*R-193

XOC-3605CU-*R-193

36mm

5.5

*

XOC-3805M-*R-193

XOC-3805CU-*R-193

1.50"

5.5

*

XOC-5009M-*R-193

XOC-5009CU-*R-193

2.00"

9.5

*

* 根據(jù)客戶要求,可提供任何比例的反射。


193nm準(zhǔn)分子反射鏡XHR/XPR型號參數(shù):

MgF2

直徑(英寸)

厚度(英寸)

運(yùn)行參數(shù)

0°高反射鏡

XHR-1206U-193-0

0.50

0.250

97%

XHR-1906U-193-0

0.75

0.250

97%

XHR-2506U-193-0

1.00

0.250

97%

XHR-3809U-193-0

1.50

0.375

97%

XHR-5009U-193-0

2.00

0.375

97%

45°高反射鏡

XHR-1206U-193-45

0.50

0.250

96%

XHR-1906U-193-45

0.75

0.250

96%

XHR-2506U-193-45

1.00

0.250

96%

XHR-3809U-193-45

1.50

0.375

96%

XHR-5009U-193-45

2.00

0.375

96%

部分反射鏡

XPR-1206U-*R-193

0.50

0.250

*

XPR-1906U-*R-193

0.75

0.250

*

XPR-2506U-*R-193

1.00

0.250

*

XPR-3809U-*R-193

1.50

0.375

*

XPR-5009U-*R-193

2.00

0.375

*

* 反射百分比和入射角可根據(jù)客戶要求提供

Lambda準(zhǔn)分子激光反射鏡 輸出波長193nm



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