MFC330 質(zhì)量流量控制器
參考價(jià) | ¥ 4600 |
訂貨量 | ≥10只 |
- 公司名稱 蘇州愛拓利電子設(shè)備有限公司
- 品牌 愛拓利
- 型號(hào) MFC330
- 產(chǎn)地 蘇州市吳江區(qū)柳胥路99號(hào) 半導(dǎo)體智能制造創(chuàng)新港
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/2/19 9:10:17
- 訪問次數(shù) 34
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產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 產(chǎn)品種類 | 質(zhì)量式 |
---|---|---|---|
價(jià)格區(qū)間 | 1-5千 | 介質(zhì)分類 | 氣體 |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),能源,制藥,電氣 |
質(zhì)量流量控制器MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器,其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。
被測(cè)氣體進(jìn)入后,先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實(shí)時(shí)測(cè)量氣體流量、高精度比例閥動(dòng)態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測(cè)量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu),即使環(huán)境溫度變化或進(jìn)出口氣壓波動(dòng),MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。
產(chǎn)品特點(diǎn)
精準(zhǔn)質(zhì)量流量測(cè)量/控制
快速響應(yīng)、高重復(fù)性
不受溫度和壓力的影響
工作壓差范圍大:0-1MPa
低壓損可選
全金屬比例閥可選
集成顯示器可選
經(jīng)濟(jì)有效的解決方案
主要參數(shù)
介質(zhì)要求 潔凈干燥氣體
氣體種類 98+氣體可選
量程 0-2,10,20,50,100,300,500 sccm
0-1,2,5,10,20,30,50,100,200,500slpm
測(cè)量范圍 0.5%F.S.(1:200)
控制范圍 1%-100% FS.(1:100)
準(zhǔn)確度 ±1% F.S.
重復(fù)精度 ±0.2%F.S.
線性度 ±0.2%F.S.
控制響應(yīng)時(shí)間<3 秒
預(yù)熱時(shí)間 5 min(T95),30 分鐘最佳
閥門 常閉式