晶圓接觸角測量儀
- 公司名稱 瑞典百歐林科技有限公司
- 品牌 Biolin/瑞典百歐林
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/2/19 15:14:15
- 訪問次數(shù) 10
聯(lián)系方式:陳俊燕18612271669 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時(shí)請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
---|---|---|---|
儀器類型 | 實(shí)驗(yàn)室臺(tái)式 | 儀器種類 | 表面張力儀(界面張力儀) |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
晶圓接觸角測量儀是一款的晶圓全自動(dòng)接觸角測量儀器。該儀器包括Theta Flow光學(xué)接觸角測量儀主機(jī),可配置四個(gè)具有軟件控制、可水平移動(dòng)、可拋棄滴液頭的自動(dòng)滴液器,以及帶自動(dòng)旋轉(zhuǎn)的全自動(dòng)XYZ樣品臺(tái)。
晶圓上的接觸角測量對于評估這些材料的潤濕性和表面特性至關(guān)重要,這些材料廣泛應(yīng)用于電子制造。通過評估液滴與晶片表面接觸的角度,研究人員可以深入了解硅的表面能和粘附性能。這些信息對于優(yōu)化半導(dǎo)體制造中的涂層、光刻和鍵合等工藝至關(guān)重要。了解接觸角有助于確保晶片與生產(chǎn)過程中使用的各種材料之間的預(yù)期相互作用,最終提高電子設(shè)備的性能和可靠性。
晶圓接觸角測量儀應(yīng)用
• 研究表面清潔度
接觸角測量可以評估晶圓的清潔度,從而來評估表面污染物和殘留物的去除情況。
• 確定表面自由能
通過測量接觸角,可以推斷出表面自由能,這對于理解其他材料如何與晶圓相互作用至關(guān)重要。
• 了解粘附性能
接觸角有助于確定應(yīng)用于晶圓的涂層和薄膜的粘附性能。
• 研究親水性/疏水性
測量接觸角可以確定晶圓表面是親水還是疏水,從而影響光刻和蝕刻等工藝。
• 用于質(zhì)量控制
定期的接觸角測量可以作為質(zhì)量控制過程的一部分,以確保晶圓加工和處理的一致性。
支持晶圓接觸角測量的軟件功能
• 批量模式,用于對一排多個(gè)晶圓進(jìn)行快速測量。
• 標(biāo)準(zhǔn)座滴法,可進(jìn)行更深入的分析。
晶圓自動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)
Theta Wafer晶圓樣品臺(tái)是一種由軟件控制的電動(dòng)平臺(tái),用于旋轉(zhuǎn)晶圓,以實(shí)現(xiàn)直徑高達(dá)12英寸晶圓的接觸角自動(dòng)定位測量。
Theta Wafer晶圓樣品臺(tái)包括旋轉(zhuǎn)臺(tái)(T340R)和晶圓臺(tái)面(T340RW)。晶圓臺(tái)面的插銷有助于晶圓的高精度對準(zhǔn)和定位。定位銷還有助于在測量過程中將晶圓保持在適當(dāng)?shù)奈恢?。為了進(jìn)一步固定晶圓,還可以通過內(nèi)置的真空連接口連接到真空泵。
Theta Wafer晶圓樣品臺(tái)連接到自動(dòng)XYZ樣品臺(tái),可以自動(dòng)定位直徑高達(dá)12英寸的晶圓。為了最大限度地提高旋轉(zhuǎn)臺(tái)的性能,建議將其與四個(gè)可拋棄滴液頭滴液器結(jié)合使用。這將允許自動(dòng)進(jìn)行表面自由能測量,或者在只使用水的情況下增加連續(xù)的測量次數(shù)。
產(chǎn)品參數(shù)
測量參數(shù) | 表面張力,界面張力,接觸角,表面自由能 |
相機(jī)分辨率上限(像素) | 2592*2048(5 MP) |
拍照速度上限(FPS) | 3422 |
旋轉(zhuǎn)移動(dòng)范圍 | 0-360° |
最大轉(zhuǎn)速 | 180°/s |
分辨率 | 0.005° |
精度 | ±0.1° |
樣品規(guī)格
適合的樣品尺寸 | 2英寸, 3英寸, 4英寸, 5英寸, 6英寸, 8英寸, 12英寸晶圓 |
最大樣品重量 | 500g |
其他
真空泵連接 | 是 |
接觸角的自動(dòng)定位 | 是 |