ACA 無掩模光刻機(jī) 高精度步進(jìn)光刻設(shè)備

在當(dāng)今科技飛速發(fā)展的時(shí)代，芯片制造技術(shù)日新月異，光刻機(jī)作為芯片制造流程中的核心設(shè)備，發(fā)揮著舉足輕重的作用。其中，無掩模光刻機(jī) 高精度步進(jìn)光刻設(shè)備以其優(yōu)勢(shì)，逐漸成為科研領(lǐng)域的熱門選擇。

無掩模光刻機(jī)，顧名思義，是一種無需使用傳統(tǒng)掩模版的光刻設(shè)備。它通過直接對(duì)晶圓進(jìn)行曝光，實(shí)現(xiàn)圖案的轉(zhuǎn)移，具有以下顯著優(yōu)勢(shì)：

高靈活性：無掩模光刻機(jī)摒棄了傳統(tǒng)掩模版，使得光刻過程更加靈活。研究人員可根據(jù)需求快速調(diào)整設(shè)計(jì)方案，縮短研發(fā)周期，降低成本。

高精度：ACA系列無掩模光刻機(jī)采用空間光調(diào)制技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了數(shù)字掩模光刻，特征尺寸可達(dá)0.8μm，滿足高精度光刻需求。

廣泛應(yīng)用：無掩模光刻機(jī)不僅適用于傳統(tǒng)的2D光刻，還能實(shí)現(xiàn)2.5D光刻（即灰度光刻），廣泛應(yīng)用于科學(xué)研究、定制化生產(chǎn)、快速原型制造、電子器件、生物醫(yī)藥、光學(xué)元件、微機(jī)械等領(lǐng)域。

長(zhǎng)壽命、高功率紫外光源：設(shè)備搭載的紫外光源具有長(zhǎng)壽命、高功率的特點(diǎn)，保證了光刻過程的穩(wěn)定性和可靠性。

原位光繪和交互式套刻指引功能：研究人員可通過原位光繪功能實(shí)時(shí)觀察光刻效果，便于調(diào)整參數(shù)。交互式套刻指引功能使光刻和套刻過程更加容易和精準(zhǔn)。

6英寸光刻面積：ACA系列無掩模光刻機(jī)支持6英寸光刻面積，滿足大部分科研需求。

高精度步進(jìn)光刻：設(shè)備采用高精度步進(jìn)光刻技術(shù)，確保光刻圖案的精確度。

托托科技科研版無掩模光刻機(jī) 高精度步進(jìn)光刻設(shè)備ACA系列憑借其高靈活性、高精度、無掩模的優(yōu)勢(shì)，為科研工作提供了強(qiáng)大的支持。隨著無掩模光刻技術(shù)的不斷進(jìn)步，相信未來將在更多領(lǐng)域發(fā)揮重要作用，為人類社會(huì)帶來更多福祉。