高分辨熱場發(fā)射掃描電鏡 SU3900/SU3800 SE Series

SU3900/SU3800 SE系列作為FE-SEM產(chǎn)品，配置超高分辨率與觀察能力。此系列突破了傳統(tǒng)SEM產(chǎn)品受安裝樣品尺寸與重量的限制，通過簡單的操作即可實現(xiàn)數(shù)據(jù)采集?？捎糜阡撹F等工業(yè)材料，汽車、航空航天部件等超大、超重樣品的觀察。

此外，SE系列包括4種型號（兩種類型，兩個等級），滿足眾多領(lǐng)域的測試需求。用戶可以根據(jù)實際用途（如微觀結(jié)構(gòu)控制：用于改善電子元件、半導(dǎo)體等材料的功能和性能；異物、缺陷分析：用于提高產(chǎn)品品質(zhì)）選擇適合的產(chǎn)品。

產(chǎn)品特點：

熱場SEM支持低真空，搭載超大樣品倉，可擴展實現(xiàn)更多功能

電子顯微鏡是進行材料形貌評價與分析的重要手段，而且直接觀察樣品的需求很常見。
SU3900/SU3800SE系列搭載牢固的多用途樣品倉，對于非導(dǎo)電性樣品，無需進行導(dǎo)電處理（金屬鍍膜）；對于超大超重樣品，無需進行切割等破環(huán)處理，可以直接安裝到樣品臺，實現(xiàn)樣品的多角度觀察。

【SU3900SE/SE Plus】  

     ф300mm晶圓安裝示例                                        在使用樣品交換倉時

                                                                                                   也可以安裝高度45mm的樣品。

         130mm 高金屬配件安裝示例

具有更高的分辨率和樣品極表面信息觀察的能力

此系列搭載新開發(fā)的熱場電子槍，在高、低加速電壓條件下，均可獲得超高分辨率圖像。

型號（SE Plus）可以滿足對樣品極表面的觀察需求。

并且，標(biāo)配的低電壓高靈敏度背散射電子探測器，可以獲取高質(zhì)量的樣品成分和凹凸信息。

SE系列的探測系統(tǒng)，通過選配的UVD探測器，還可以獲得樣品多種類型信息，實現(xiàn)多種模式觀察。

自動化、輔助功能讓操作更便捷

SU3900/SU3800 SE系列配備自動光學(xué)系統(tǒng)調(diào)整功能，可大量簡化操作流程。

此外，使用選配功能【EM Flow Creator】，可以自動連續(xù)獲取圖像。

將條件設(shè)置（如放大倍率，樣品臺位置等）、調(diào)整對焦/對比度等SEM功能轉(zhuǎn)化為可組合的模塊，生成一系列觀察程序。每個客戶都可以創(chuàng)建自己的觀察程序。

通過拖拽模塊，可以像流程表一樣創(chuàng)建程序。通過執(zhí)行創(chuàng)建的程序，即可實現(xiàn)自動觀察。

①確定區(qū)域，以×300倍率拍攝低倍圖像

②以×1,000 拍攝同一區(qū)域的中倍圖像

③以×5,000 拍攝同一區(qū)域的高倍圖像

應(yīng)用案例

金屬

鐵絲斷面                                                  

可以確認(rèn)韌性斷裂引起的微小孔洞

電子元件

電路板                                                                                                多層陶瓷電容器橫截面

通過低倍率、高傾斜觀察，可以確認(rèn)貼裝元件的立體形狀及位置            可以觀察到鎳電極/電介質(zhì)層的成分和晶體襯度

無機材料

氧化鋅顆粒                                                                                     高熵硬質(zhì)合金薄膜

可以觀察到50 nm 左右的細(xì)小顆粒及立體形狀                                 可以觀察到不同成分/形狀的多個顆粒的分布

電池材料

鋰離子電池正極材料                                                                           鋰離子電池負(fù)極材料

可以觀察到正極材料顆粒與周圍粘合劑的分布                                      可以觀察到負(fù)極材料最表面的粘合劑