AMS 晶圓型多功能測試片
- 公司名稱 上海睿丹自動化儀表有限公司
- 品牌
- 型號 AMS
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/3/12 21:06:05
- 訪問次數(shù) 20
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,能源,電子,電氣,綜合 |
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AMS 晶圓型多功能測試片
AMS 無線晶圓校準測量系統(tǒng)通過專業(yè)技術(shù)將多個傳感器模塊集成到晶圓上,能夠快速測量加速度、振動、水平、調(diào)平角度、濕度、溫度等參數(shù), 幫助提高半導(dǎo)體機臺設(shè)備的調(diào)試效率,AMS 在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的應(yīng)用有助于提升設(shè)備的調(diào)試效率和生產(chǎn)過程的控制精度。
【應(yīng)用范圍】
晶圓傳輸檢測、天車傳輸監(jiān)測、AMHS 晶圓搬運監(jiān)測
【產(chǎn)品優(yōu)勢】
1. 參數(shù)實時數(shù)據(jù)監(jiān)控:AMS 可專業(yè)測量晶圓在制程中的加速度、振動、水平角度、濕度溫度等關(guān)鍵參數(shù)。
2. 無線測溫采集:傳感器無需有線連接即可傳輸數(shù)據(jù),滿足晶圓在復(fù)雜性狀況下通過無線通信方式進行參數(shù)測量。
3. 高精度與靈敏度:傳感器具有高精度和靈敏度,能夠滿足嚴格的工業(yè)標準和要求。
4. 輕巧的設(shè)計:AMS系統(tǒng)的輕巧設(shè)計使其能夠適應(yīng)更多的設(shè)備和應(yīng)用環(huán)境,尤其對于空間受限的場合提供更大的靈活性和便捷性。
5. 低功耗性能:低功耗的特性實現(xiàn)系統(tǒng)可以在不犧牲性能的前提下長時間運行。
6. 支持過程調(diào)整與驗證:通過分析在產(chǎn)品工藝條件下收集的參數(shù)數(shù)據(jù)實現(xiàn)調(diào)整工藝步驟的條件,以確保最佳性能。
【參數(shù)配置】