摻氟錫氧化物CVD用發(fā)生器

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公司名稱 蘇州阿洛斯環(huán)境發(fā)生器有限公司
品牌
型號(hào)
產(chǎn)地
廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間 2025/3/28 9:23:37
訪問(wèn)次數(shù) 25

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蘇州阿洛斯環(huán)境控制系統(tǒng)有限公司是一家專業(yè)從事環(huán)境發(fā)生器相關(guān)產(chǎn)品及測(cè)試和應(yīng)用平臺(tái)的試驗(yàn)開(kāi)發(fā)的技術(shù)型公司，公司由畢業(yè)于清華大學(xué)的張家港市人才柯銳博士創(chuàng)建，聚集了來(lái)自清華大學(xué)、浙江大學(xué)、同濟(jì)大學(xué)、南京農(nóng)業(yè)大學(xué)等重點(diǎn)院校畢業(yè)的創(chuàng)業(yè)人才，先后完成了高純甲醛（污染物）在線發(fā)生器、精密水蒸氣發(fā)生器、車載交變濕熱環(huán)境發(fā)生器、歐姆熱催化尿素水解在線制氨發(fā)生器、煙氣發(fā)生器和催化通用測(cè)試平臺(tái)等一些列產(chǎn)品，該系列產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于環(huán)保脫銷、鋼鐵、汽車、空氣凈化、環(huán)境傳感等熱門行業(yè)。

展開(kāi)

發(fā)生器，評(píng)價(jià)裝置等

詳細(xì)信息 在線詢價(jià)

設(shè)備配備預(yù)壓料桶、與大氣隔離的泵模組、高穩(wěn)定/耐腐蝕蒸發(fā)器以及一體化設(shè)計(jì)的嵌入式預(yù)熱器。液態(tài)前驅(qū)體經(jīng)過(guò)蒸發(fā)段氣化，隨后調(diào)溫輸出。輸出組分進(jìn)一步分布或混合，為CVD工藝提供氣態(tài)原料。前驅(qū)體接觸的材質(zhì)均采用耐腐蝕材料。

PLC控制系統(tǒng)，Ethernet通訊，與CVD生產(chǎn)線主控系統(tǒng)通訊。

含錫前驅(qū)體	≤60	sccm
含氟前驅(qū)體	≤20	sccm
H2O	≤60	sccm
功率	7.5	kW

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