CGST3100 全自動去膠機

具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品標簽

干法去膠機等離子去膠機微波去膠機 ICP 剝離機

在線交流發(fā)送詢價進入商鋪同類產(chǎn)品

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公司介紹 主營產(chǎn)品

‍合肥重光電子科技有限公司是一家專業(yè)從事儀器設(shè)備的生產(chǎn)商。針對國家大力扶持的太陽能電池和半導(dǎo)體等科技領(lǐng)域。

我司有專業(yè)的檢測儀器和工藝實驗設(shè)備，能夠滿足不同客戶的打樣和定制化需求。同時我司與中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)微納加工平臺、合肥工業(yè)大學(xué)微納加工平臺保持技術(shù)上的交流，能有效幫助客戶解決工藝問題。

我司提供產(chǎn)品的定制化代工業(yè)務(wù)，滿足客戶對自營品牌的需求，讓客戶從而實現(xiàn)資產(chǎn)輕量化運營。

‍‍我司產(chǎn)品優(yōu)勢：提供定制化服務(wù)，滿足客戶多樣化需求，從而為客戶節(jié)約更多科研經(jīng)費。其中低速勻膠平穩(wěn)，結(jié)束低粘度光阻勻膠依賴進口品牌。

展開

勻膠、熱板、顯影、等離子、光刻設(shè)備

全自動去膠機產(chǎn)品介紹：

1設(shè)備名稱：全自動干法去膠機

2設(shè)備型號：CGST3100

3設(shè)備原理：ICP

4晶圓尺寸Wafer size: 8 inch（4或6 inch兼容）

5晶圓材料Wafer material: Si基（若為其他材料需寫明）

全自動去膠機參數(shù)：

設(shè)備主體
設(shè)備尺寸	L1300×W1190×H1847mm
設(shè)備重量	800Kg
設(shè)備電源	AC220V，3P,50/60Hz，5線，16A
主機軟件	Windows 10
主機通訊	SECS/GEM
主機硬盤	單/雙
工藝腔	ICP，單腔
料盒類型	開放式（Open cassette）
晶圓單次處理容量	一片
機械手	3軸（單/雙臂選配）
機械手	Mapping(選配）
每小時出片量（WPH)	35片/小時 (1分鐘標準配方)
加熱盤	鋁合金，控溫：50-250℃
等離子發(fā)生系統(tǒng)
電源類型	射頻
電源功率	0~1000W
電源頻率	13.56MHz
匹配器	自動匹配
真空系統(tǒng)
工藝腔	鋁合金
腔門	門閥，氣動
真空管路	全不銹鋼管路，以及高強度真空波紋管
蝶閥	控壓精度：±50 mtorr
真空管路開關(guān)	角閥，氣動
真空泵	干泵：600m3/h
真空計	0.001-10 Torr
腔體真空開關(guān)	750 Torr
前級管道真空開關(guān)	100 Torr
氣體系統(tǒng)
工藝氣體系統(tǒng)	氣柜，模塊化（GAS BOX)
氣柜箱體材質(zhì)	不銹鋼
氣柜排氣	負壓，酸排
氣柜配置	過濾器，手動閥，流量計，氣動閥，壓差計，調(diào)速閥，連鎖開關(guān)
氣體路數(shù)
氣路1	O2 5SLM
氣路2	N2 1SLM
氣路3	CF4 100SCCM
氣路4	4%H2/N2 1SLM
氣路5	N2 慢/快速破真空

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