HLFS01-06 HONDA本多 W-357-1MQG-SKC 振動(dòng)式清洗機(jī)

HONDA本多 W-357-1MQG-SKC  振動(dòng)式清洗機(jī)

HONDA本多 W-357-1MQG-SKC  振動(dòng)式清洗機(jī)

 家

產(chǎn)品信息

工業(yè)產(chǎn)品

產(chǎn)品陣容

超聲波清洗設(shè)備

石英振動(dòng)式清洗機(jī)[高頻石英振動(dòng)式]

石英振動(dòng)類型

實(shí)現(xiàn)低損傷、高清潔度的新一代清洗技術(shù)

2006年，我們成功將 臺(tái)石英振子式超聲波清洗裝置投入實(shí)際應(yīng)用。

該裝置通過(guò)將超聲波疊加在石英振子上來(lái)清洗半導(dǎo)體晶圓。

與批量清洗或流水清洗相比，該裝置的優(yōu)點(diǎn)在于，可以減少化學(xué)藥劑的使用量，并且由于與液體接觸的部分只有石英玻璃，填料等橡膠材料不會(huì)與液體接觸，因此可以保持較高的清潔度。

此外，通過(guò)根據(jù)用途調(diào)整石英振子的形狀，可以根據(jù)需要進(jìn)行低損傷清洗、大面積清洗、斜面（邊緣面）和缺口（晶圓邊緣面的切口部分）清洗等有效的清洗。

概述

特征

以最小的損傷清洗具有精細(xì)圖案的晶圓

■通過(guò)將超聲波疊加在石英振子上來(lái)清洗半導(dǎo)體晶圓。

通過(guò)將石英振子的超聲波振動(dòng)通過(guò)藥液傳遞到半導(dǎo)體晶圓，接觸點(diǎn)的藥液會(huì)振動(dòng)，通過(guò)加速度去除表面污垢。

■實(shí)現(xiàn)對(duì)半導(dǎo)體晶圓損傷最小的清潔清洗通過(guò)

在與藥液的接觸部分使用石英，與使用填料等橡膠材料的設(shè)備相比，可以實(shí)現(xiàn)清潔清洗，而不會(huì)產(chǎn)生橡膠的溶出或磨損。

■配備振子冷卻功能，可以用氣體（氮?dú)獾龋├鋮s振子，從而實(shí)現(xiàn)頻率無(wú)波動(dòng)的穩(wěn)定連續(xù)運(yùn)行。

此外，冷卻還可以防止急劇的溫度變化并延長(zhǎng)設(shè)備壽命。

目的

光刻膠殘留物去除

蝕刻和灰化后聚合物去除

柵極電極清洗

CMP 后清洗

規(guī)格

■ 振蕩器

   ● 輸出可變范圍：0W 至 12W（振動(dòng)器允許輸入：使用空氣吹掃冷卻振動(dòng)器時(shí)，10W 連續(xù)）

● 使用周圍環(huán)境：溫度：15 至 35°C、濕度：10 至 85%

● 外部驅(qū)動(dòng)觸點(diǎn)額定值：超聲波振蕩控制（控制側(cè)）觸點(diǎn)輸入：DC12V 16mA 或更大

　警報(bào)輸出（主機(jī)）觸點(diǎn)容量：DC24V 0.5A

■ 附帶電纜：電源線（從 AC100V/2m 或 AC200V 2.4m 中選擇）、控制線（5m）x 4

■ 振動(dòng)體

          ●液體溫度范圍：20至50°C

●振動(dòng)器：PZT

●材質(zhì)：振動(dòng)器：石英玻璃、密封墊：硅橡膠、外殼：PCTFE

●電纜長(zhǎng)度：輸出電纜1.5m+中繼電纜3.5m

●空氣吹掃接頭：適用管（外徑φ6）

*也可接受 2MHz、3MHz、4MHz 和 5MHz 的特殊訂單。

●電纜長(zhǎng)度：輸出電纜5m

我司代理及優(yōu)勢(shì)品牌一覽明細(xì)：

代理品牌：CCS晰寫(xiě)速SEN日森、EYE巖崎、REVOX萊寶克斯、SERIC索萊克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林時(shí)計(jì)、NPM日脈

NS日本科學(xué)、DRY-CABI東利繁、TOKISANGYO東機(jī)

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt寫(xiě)真化學(xué)、NIPPON GEAR日本齒輪

NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 東麗

優(yōu)勢(shì)品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龍、ORC歐阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂詰、TORAY東麗、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU電色、KKIMAC

S-VANS斯萬(wàn)斯、ORIHARA折原、LUCEO魯機(jī)歐、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光學(xué)

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA東亞電波、OKANO岡野、ANRITSU安立計(jì)器

IMV艾目微、MITUTOYO三豐、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三榮、HEIDON新東科學(xué)KURABO倉(cāng)紡、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH愛(ài)光、SEM坂本電機(jī)

SURUGA駿河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂、

RKC理化、MACOME碼控美、EIWA榮和、EXCEL艾庫(kù)斯、YODOGAWA淀川等

優(yōu)勢(shì)產(chǎn)品：日本紫外線照度計(jì)、紫外線裝置燈管、LED視覺(jué)光源、表面檢查燈、手持檢測(cè)燈

變色燈箱、色差儀、鹵素光源裝置、氧氣濃度計(jì)、焊接機(jī)、應(yīng)力表面檢查儀、LED光源機(jī)、電子天平、粘度計(jì)、膜厚計(jì)、恒流泵、采樣泵、PH計(jì)、水分計(jì)、地震測(cè)試儀、脫泡攪拌機(jī)、壓力傳感器、氣體檢測(cè)儀、接近開(kāi)關(guān)、拉拔機(jī)、異音檢測(cè)儀、應(yīng)變測(cè)試儀、拉針儀、水平測(cè)試儀等氣動(dòng)元件：SMC  FESTO  CKD,MAC，安沃馳AVENTICS，雄克SCHUNK，小金井KOGANEI，諾冠NORGREN，寶德BURKERT，力士樂(lè)REXROTH，濱霸BIMBA，康茂勝CAMOZZI，PIAB

傳感開(kāi)關(guān)：邦納BANNER，巴魯夫BALLUFF，皮爾茲PILZ,易福門IFM，西克SICK,圖爾克TURCK,良信，安士能EUCHNER，倍加福P+F，穆?tīng)朚URR，倍福BECKHOFF，德森克DI-SORIC，施邁賽SCHMERSAL，基恩士KEYENCE，歐姆龍OMRON，

電氣控制：西門子SIEMENS，施耐德 SCHNEIDER，伊頓-穆勒EATON，羅克韋爾A-B，ABB，三菱MITSUBISHI，丹佛斯DANFOSS，倫茨LEUZE，SEW

端子連接器：菲尼克斯PHOENIX，魏德米勒WEIDMULLER，浩亭HARTING，高松電子