差分旋轉(zhuǎn)驅(qū)動

深圳微儀真空技術(shù)有限公司是從事高精度物理氣相沉積設備及其關鍵組件研發(fā)和制造的企業(yè)。公司通過了ISO質(zhì)量管理體系認證，擁有4項發(fā)明及十余項實用新型設備 。

公司核心成員畢業(yè)于中科院，清華大學，廈門大學等科研機構(gòu)，公司吸納了有半導體制程技術(shù)與非標科學儀器制造經(jīng)驗的高級人才，聚集了一批專業(yè)從事磁控濺射鍍膜技術(shù)，真空系統(tǒng)的研發(fā)與設備調(diào)試人員，練就了一支在真空領域具有專業(yè)水準的技術(shù)隊伍。目前擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的磁控鍍膜機、電子束鍍膜機、高真空CVD爐、及密封送樣機構(gòu)。已在材料研究領域得到了廣泛的應用和一致的好評。

公司主營產(chǎn)品為國產(chǎn)科研級和產(chǎn)業(yè)級磁控濺射設備，同時為合作伙伴和客戶提供薄膜加工制造、工藝調(diào)試、設備軟件開發(fā)等服務。公司致力于提升薄膜沉積設備的自主可控水平，推進產(chǎn)學研深度融合，將科研成果轉(zhuǎn)化為具有競爭力的產(chǎn)品，努力解決集成電路行業(yè)卡脖子的關鍵設備和工藝難題，為半導體、新能源、新材料等領域提供解決方案。

未來的微儀真空，將以磁控濺射鍍膜技術(shù)為核心，深耕發(fā)展未來，堅持以客戶為中心，以價值創(chuàng)造者為本，持續(xù)創(chuàng)新，推動產(chǎn)業(yè)進步，創(chuàng)造無限可能。