MCK-66RC 大平臺(tái)半導(dǎo)體檢查顯微鏡（芯片/晶圓）

光學(xué)系統(tǒng)

無(wú)限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng)

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光學(xué)放大倍數(shù)

50倍-500倍(可選500/1000倍)

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數(shù)碼放大倍數(shù)

150倍-1500倍（21.5寸顯示器）

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工業(yè)相機(jī)

2000萬(wàn)1寸彩色索尼工業(yè)芯片（可選630萬(wàn)）

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觀察筒

正像，無(wú)限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒，瞳距調(diào)節(jié)：50mm~76mm，兩檔分光比雙目:三目=100：0

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反像，無(wú)限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒，瞳距調(diào)節(jié)：50mm~76mm，兩檔分光比雙目:三目=100：0

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目鏡

高眼點(diǎn)大視野目鏡SWH10X-H/23mm，視度可調(diào)

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高眼點(diǎn)大視野目鏡SWH10X-H/25mm，視度可調(diào)

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物鏡

無(wú)限遠(yuǎn)半復(fù)消長(zhǎng)距明暗場(chǎng)物鏡 45MM可見(jiàn)光金相物鏡5X NA0.15 WD14.8mm

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無(wú)限遠(yuǎn)半復(fù)消長(zhǎng)距明暗場(chǎng)物鏡 45MM可見(jiàn)光金相物鏡10X NA0.30 WD8.5mm

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無(wú)限遠(yuǎn)半復(fù)消長(zhǎng)距明暗場(chǎng)物鏡 45MM可見(jiàn)光金相物鏡20X NA0.45 WD11.9mm

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無(wú)限遠(yuǎn)半復(fù)消長(zhǎng)距明暗場(chǎng)物鏡 45MM可見(jiàn)光金相物鏡50X NA0.75 WD3.0mm

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無(wú)限遠(yuǎn)半復(fù)消長(zhǎng)距明暗場(chǎng)物鏡 45MM可見(jiàn)光金相物鏡100X NA0.80 WD3.0mm

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無(wú)限遠(yuǎn)半復(fù)消長(zhǎng)距明暗場(chǎng)物鏡 45MM可見(jiàn)光金相物鏡100X NA0.90 WD1.0mm

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物鏡轉(zhuǎn)換器

5孔明暗場(chǎng)手動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器（帶DIC插槽）.

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5孔明暗場(chǎng)電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器（電動(dòng)/帶DIC插槽）.

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機(jī)架

上光源

反射用機(jī)架, 低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程35mm,微調(diào)精度0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置。內(nèi)置100-240V寬電壓系統(tǒng)，采用數(shù)字調(diào)光，具有光強(qiáng)設(shè)定與復(fù)位功能

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載物臺(tái)

6英寸平臺(tái)，平臺(tái)面積 450*240mm，移動(dòng)行程：158mmX158mm機(jī)械平臺(tái)，X、Y方向同軸調(diào)節(jié)；含快速移動(dòng)裝置

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聚光鏡

搖出式消色差聚光鏡（N.A.0.9）

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干涉片

諾曼爾斯基微分干涉片

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反射照明器

明暗場(chǎng)反射照明器，帶可變孔徑光闌，視場(chǎng)光闌，中心可調(diào)，帶濾色片插槽，帶起偏鏡/檢偏鏡插槽，

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燈室

10W可調(diào)LED燈室，透、反射通用，預(yù)定中心

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攝像接口

攝影攝像附件：0.65X，C型接口，可調(diào)焦（可選0.5X/1X）

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偏光組件

起偏鏡插板，360°旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板

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電腦

品牌電腦和顯示器

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測(cè)量軟件

測(cè)量軟件，軟件控制電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)，拍照，錄像，測(cè)量，實(shí)時(shí)圖像拼接，景深融合

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標(biāo)尺

高精度型測(cè)微尺，格值0.01mm

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