ET4000 日本Kosaka輪廓儀（臺階儀）

日本Kosaka輪廓儀（臺階儀）

日本Kosaka株式會社于1950年成立，專業(yè)生產(chǎn)、開發(fā)和銷售各種精密測試儀器、液壓設(shè)備、自動機械和包裝機械等產(chǎn)品。公司于1950年推出其*個產(chǎn)品，SD-1表面粗糙分析儀。從此，在隨后的五十多年，產(chǎn)品不斷完善和更新，Kosaka公司的精密分析儀器始終是行業(yè)里的者。

ET4000臺階儀介紹：

     日本Kosaka輪廓儀（臺階儀）ET4000是Kosaka公司推出的全自動接觸式微細形狀測定儀，具有高精確性、穩(wěn)定性和重復(fù)性，可測量FPD、晶片、磁盤，和與納米材料相關(guān)物件的表面特性、臺階高度和粗糙度等。堅固的花崗巖材料鑄成的機身框架以及支撐部件顯著提高了儀器的重復(fù)精度，并降低了地板噪音對測量的干擾。ET4000為滿足用戶不同應(yīng)用方向的需要提供了多種可選配置，通過選配三維成像附件套裝還可以*地擴充儀器的功能。

日本Kosaka輪廓儀（臺階儀）主要參數(shù)：

儀器特點：

l 具有的臺階高度重復(fù)性5? （1σ）和線性度（垂直線性度：200nm以上為±0.25%；200nm以下為0.5nm）。

l 高分辨率，縱軸zui大分辨率為0.1nm，橫軸為0.01μm，可精確測量納米級至幾百微米級臺階高度。

l 超高直線度： 0.005μm/5mm，可測定微細表面形狀、段差、平面度、粗度、應(yīng)力分析等。

l 低測定力：采用直動力LVDT檢出器，觸針力在0.5μN～500μN范圍可以任意調(diào)節(jié)，可測定軟質(zhì)材料。

特點：? 

出色的臺階再現(xiàn)性與線性度。? 

超高真直度，可確保量測圖形不受任何影響，并可在保證真直度的前提下長距離量測。? 

采用超低噪音直動式 LVDT，超低測定力的觸針可任意調(diào)節(jié)。? 

配備高分辨率的 CCD 即時進行高精度定位測量。? 

可對應(yīng)各種國際規(guī)范，測定參數(shù)多達 60 多種。? 

適用于各種與納米材料有關(guān)的 MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜/化學(xué)涂層以及平板顯示等。