多工位管式爐的結(jié)構(gòu)性能

閱讀：5842發(fā)布時間：2016-8-22

　　多工位管式爐產(chǎn)品系周期作業(yè)，供企業(yè)實驗室，大專院校，科研院所等單位選用，設(shè)備為用戶提供具體真空、可控氣氛及高溫的實驗環(huán)境，應(yīng)用在半導(dǎo)體，納米技術(shù)，碳纖維等新材料新工藝領(lǐng)域薄膜沉積爐、氣相沉積爐、納米材料爐。

　　多工位管式爐的結(jié)構(gòu)實用性;

　　1)加熱爐膛有上下兩部分組成，其中上部爐膛可整體向后翻轉(zhuǎn)110°，方便取放、觀察實驗物料，爐膛材料采用的多晶莫來纖維真空吸附制成，節(jié)能50%，溫場均勻。電熱元件采取高電阻合金絲0Cr27Al7Mo2。

　　2)密封法蘭采用雙環(huán)密封技術(shù)，有效的提高了爐管兩端的氣密性。氣路具有進出氣微量可調(diào)功能。

　　3)兩端氣路支架，支撐著氣路裝置。有效消除了氣路總成自身的應(yīng)力，杜絕了因自身應(yīng)力而造成的爐管損壞。

　　4)的空氣隔熱技術(shù)，結(jié)合熱感應(yīng)技術(shù)，當(dāng)爐體表面溫升到達50℃時，排溫風(fēng)扇將自動啟動，使?fàn)t體表面快速降溫。

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