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快速退火爐的應(yīng)用領(lǐng)域和使用條件介紹
閱讀：5218發(fā)布時(shí)間：2019-4-24
快速退火爐具有升溫速度快、密封好、溫度范圍寬、實(shí)驗(yàn)方便等特點(diǎn)。
真空快速退火爐的應(yīng)用領(lǐng)域：
- 離子注入/接觸退火；
- 快速熱處理(RTP)，快速退火(RTA)，快速熱氧化(RTO)，快速熱氮化(RTN)；
- 可在真空、惰性氣氛、氧氣、氫氣、混合氣等不同環(huán)境下使用；
- SiAu, SiAl, SiMo合金化；
- 低介電材料；
- 晶體化，致密化；
- 太陽能電池片鍵合
快速退火爐適用于下列工作條件：
（1）環(huán)境溫度在-10～75℃之間。
（2）周圍環(huán)境的相對濕度不超過85%。
（3）爐子周圍沒有導(dǎo)電塵埃，爆炸性氣體及嚴(yán)重破壞金屬和絕緣材料的腐蝕性氣體。
（4）沒有明顯的傾斜﹑振動(dòng)和顛簸。
天津中環(huán)電爐股份有限公司主營產(chǎn)品：氣氛管式爐，高溫箱式電爐，高溫鐘罩爐
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