德祥：德國Thermconcept高溫爐半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用

——石英玻璃析晶性能試驗方法的*選擇

析晶性能試驗對于天然水晶或天然高純二氧化硅、硅鹵化物等半導(dǎo)體行業(yè)的原料是*的性能測試，馬弗爐、中溫爐、高溫爐作為其檢測分析的行業(yè)標(biāo)準推薦設(shè)備而*。

中華人民共和國建材行業(yè)標(biāo)準

C/T 597-1995

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半導(dǎo)體用透明石英玻璃管

《石英玻璃析晶性能試驗方法》

A3試驗設(shè)備

A3.1電熱干燥箱。
A3.2立式高溫二硅化鉬電爐。
A3.2.1電爐必須具有雙層爐膛，內(nèi)爐膛為高純?nèi)趸X材料制成，爐內(nèi)樣品上放有石英墊。
A3.2.2電爐溫度有P.I.D自動控制，精度為±1℃，24h內(nèi)穩(wěn)定在±2.5℃。爐溫均勻，梯度不大于±10℃。
A3.3測量顯微鏡：測量精度為5μm，放大倍數(shù)為100。

德國Thermconcept公司總部設(shè)在德國不萊梅, 擁有豐富的研發(fā)、設(shè)計和生產(chǎn)的各種馬弗爐和加熱爐系統(tǒng)的經(jīng)驗，加熱爐的溫度范圍從50℃到2000℃，能夠滿足半導(dǎo)體行業(yè)絕大多數(shù)用戶的應(yīng)用需求。

HTL系列高溫爐

·不銹鋼外殼，防腐蝕

·雙層箱式結(jié)構(gòu)，外殼溫度低

·高品質(zhì)加熱元件采用二硅化鉬材料

·爐體隔熱層由氧化鋁陶瓷纖維制成，低熱損失

·的溫度均勻性

·快速升溫或降溫

·手動平行門，避免與高溫面接觸

·半導(dǎo)體控制器，控溫精度高

·采用長壽命B型熱電偶

·后墻連有排氣管

·配有Eurotherm 3208控制器：操作簡單，控溫精度高，1個完整升溫程序，包括8個可編程獨立升溫段。

HTK系列高溫爐

·內(nèi)襯、底部和前部都采用不銹鋼材料, 耐腐蝕

·雙層箱體結(jié)構(gòu)，具有強制冷卻功能，因而外殼溫度非常低

·內(nèi)襯、底部和前部都采用不銹鋼材料

·排氣管采用氧化鋁材質(zhì)（Ø 25/18 mm）

·采用特殊材料制成的絕緣內(nèi)腔, 穩(wěn)定性好,使用壽命長

·高品質(zhì)加熱元件MoSi2, 安裝在內(nèi)腔的兩側(cè), 自由熱輻射, 每個加熱元件能夠單獨更換

·配有平行導(dǎo)向門, 容易裝載樣品, 且使操作者免受熱侵害

·B型熱電偶

·特殊的Labyrinth系統(tǒng), 密封性

·配有PID可編程程序控制器Eurotherm 3508, 可設(shè)定5個程序, 500個程序段, 5位字符顯示屏, 操作簡單, 控溫精度不超過+/- 2 K

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