FT160配置部件,可以提供精細(xì)結(jié)構(gòu)上的超薄鍍層的元素分析。毛細(xì)管聚焦光學(xué)鏡能聚焦直徑小于30μm的X射線束,從而在樣品上集中更大強(qiáng)度且其可測(cè)量的部件尺寸小于傳統(tǒng)準(zhǔn)直器可測(cè)量的部件尺寸。高靈敏度、高分辨率日立分析儀器硅漂移探測(cè)器(SDD)充分利用光學(xué)系統(tǒng)測(cè)量微電子和半導(dǎo)體上的納米級(jí)鍍層。高精度樣品臺(tái)和具備數(shù)字變焦功能的高清攝像頭可快速定位樣件,以提高樣品處理量。
FT160 XRF專門(mén)為微焦斑和超薄鍍層分析設(shè)計(jì),可準(zhǔn)確可靠地測(cè)量*小部件上的鍍層,具有以下優(yōu)點(diǎn):
(1)應(yīng)對(duì)超薄鍍層(納米級(jí)鍍層)測(cè)試挑戰(zhàn),例如日益縮小的電子元件(尺寸小于50µm)中的鍍層。
(2)高通量測(cè)試,這得益于內(nèi)部的多毛細(xì)管光學(xué)和高精度前沿XRF檢測(cè)器(SDD檢測(cè)器)。
采用多毛細(xì)管光學(xué)技術(shù)測(cè)量小于50 µm的特征,對(duì)較小的特征可獲得更高的精度
(3)高精度測(cè)量,F(xiàn)T160可提供小于30µm的束流直徑,從而實(shí)現(xiàn)高精度的電鍍厚度測(cè)量和成分分析,這對(duì)于在整個(gè)半導(dǎo)體制造過(guò)程中分析焊料凸起、金屬沉積和電鍍**重要。
(4)符合IPC規(guī)范,滿足質(zhì)控分析需求
可用于印制板(PCB)制造以驗(yàn)證鎳基鍍層。它使用檢測(cè)器技術(shù)和多毛細(xì)管光學(xué)技術(shù),使質(zhì)量控制部門(mén)能夠可靠、準(zhǔn)確地測(cè)量尺寸小于50µm的部件上的納米級(jí)特征鍍層厚度。它還具有模式識(shí)別軟件和自動(dòng)特征搜索器,可加快XRF分析速度。
(5)FT160具有大樣品臺(tái),寬敞開(kāi)的門(mén)和堅(jiān)固的觀察窗,可輕松裝載各種尺寸的零件并專注于測(cè)量點(diǎn)。新設(shè)計(jì)的控制器軟件可實(shí)現(xiàn)增強(qiáng)和精確的測(cè)試,并將結(jié)果方便地捕獲到數(shù)據(jù)庫(kù)中以供導(dǎo)出。FT160可產(chǎn)生快速、準(zhǔn)確和可重復(fù)的結(jié)果,提高了生產(chǎn)效率并降低了PCB、半導(dǎo)體和微型連接器上的超標(biāo)鍍層的成本。
(6)16倍數(shù)字變焦高清相機(jī),更容易觀察半導(dǎo)體和PCB表面并易于導(dǎo)航。