•適用于光學(xué)、工業(yè)和半導(dǎo)體市場(chǎng)的高速、中精度、經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的表面輪廓儀

•納米分辨率彩色共聚焦傳感器（可配制點(diǎn)和線傳感器）

•為在線過程測(cè)量和控制而設(shè)計(jì)

•結(jié)構(gòu)緊湊，易于上下片和操作

•可配制成獨(dú)立系統(tǒng)（X/Y/Z） 和附加升級(jí)至LAS （C/R/Z）

•多種樣品處理能力

–單一數(shù)控加工的非球面透鏡（ ?可達(dá)100mm）

–托盤中的小型模塑透鏡

–自由曲面光學(xué)器件（無旋轉(zhuǎn)對(duì)稱） 半導(dǎo)體，MEMs，LED，OLED，光子晶圓

特點(diǎn)：

•可在納米分辨率下測(cè)量大的臺(tái)階高度（>1mm）

•適用于較大和較重的零件、不規(guī)則幾何形狀