專為測量旋轉(zhuǎn)對稱樣品的表面形貌和透明薄膜的厚度而設(shè)計，如金剛石車削光學表面和模塑或拋光的非球面透鏡：

•非接觸、高分辨率的高速彩色共聚焦點傳感器

•高精度對中/傾斜工作臺，帶可調(diào)壓電桿探頭，可快速輕松地對齊樣品/卡盤/夾具

•納米編碼C/R/Z （旋轉(zhuǎn)， 徑向， 垂直）運動，具有直接驅(qū)動旋轉(zhuǎn)-空氣軸承 （C軸）和直接驅(qū)動線性機械軸承（R&Z軸）

•花崗巖底座，具有尺寸穩(wěn)定的因瓦合金計量框架

示例數(shù)據(jù)：

•樣品是具有衍射功能的DPT非球面

•在QuickPRO-RPS上測量

•移除多項形狀后顯示的數(shù)據(jù)

- 非球面凹陷約為800µm

- 衍射臺階高度約為1µm