Subnano3D干涉輪廓儀介紹：

NanoX-2000/3000系列、3D光學(xué)干涉輪廓儀建立在移相干涉測量(PSI)、白光垂直掃描干涉測量(VSI)和單色光垂直掃描干涉測量(CSI)等技術(shù)的基礎(chǔ)上，以其納米級(jí)測量準(zhǔn)確度和重復(fù)性(穩(wěn)定性)定量地反映出被測件的表面粗糙度、表面輪廓、臺(tái)階高度、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應(yīng)用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加工、表面工程技術(shù)、材料、太陽能電池技術(shù)等領(lǐng)域。

Subnano3D干涉輪廓儀產(chǎn)品優(yōu)勢：

1、美國硅谷研發(fā)的核心技術(shù)和系統(tǒng)軟件。

2、關(guān)鍵硬件采用美國、德國、日本等。

3、PI納米移動(dòng)平臺(tái)及控制系統(tǒng)。

4、Nikon干涉物鏡。

5、NI信號(hào)控制板和Labview64 控制軟件。

6、TMC光學(xué)隔振臺(tái)。

7、測量準(zhǔn)確度重復(fù)性達(dá)到不錯(cuò)的水平(中國計(jì)量科學(xué)研究院證書)。

岱美在中國大陸地區(qū)主要銷售或提供技術(shù)支持的產(chǎn)品：

晶圓鍵合機(jī)、納米壓印設(shè)備、紫外光刻機(jī)、涂膠顯影機(jī)、硅片清洗機(jī)、超薄晶圓處理設(shè)備、光學(xué)三維輪廓儀、硅穿孔TSV量測、非接觸式光學(xué)三坐標(biāo)測量儀、薄膜厚度檢測儀、主動(dòng)及被動(dòng)式防震臺(tái)系統(tǒng)、應(yīng)力檢測儀、電容式位移傳感器等。

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