NS3600 高速3D激光共聚焦顯微鏡是韓國Nanoscope System 公司專門為低維材料科學研究所研發(fā)的一款激光共聚焦顯微鏡。NS3600 采用的是638nm 的激光作為光源，測量時無需與樣品表面接觸即可獲得樣品表面的三維測量數(shù)據(jù)，是進行低維材料表面檢測有效的工具。

NS3600三維激光共聚焦顯微鏡

NS-3600是一種可靠的三維(3D)測量高速共焦激光掃描顯微鏡(CLSM)。通過快速光學掃描模塊和信號處理算法實現(xiàn)實時共焦顯微圖像。在測量和檢測微觀三維結(jié)構(gòu)，如半導體晶片，F(xiàn)PD產(chǎn)品，MEMS設(shè)備，玻璃基板，材料表面等方面擁有*的解決方案。

 

Features & Benefits（性能及優(yōu)勢）：

• 高分辨無損傷光學3D測量                               自動傾斜補償

• 實時共焦成像                                                 簡單的數(shù)據(jù)分析模式

• 多種光學變焦                                                 雙Z掃描

  大范圍拼接                                                    半透明基材的特征檢測

• 實時CCD明場和共聚焦成像                            無樣品準備

• 自動聚焦

Software (軟件）：

Application field（應(yīng)用領(lǐng)域）：

NS-3500是測量低維材料的有前途的解決方案。

可測量微米和亞微米結(jié)構(gòu)的高度，寬度，角度，面積和體積，例如

-半導體:IC圖形，凹凸高度，線圈高度，缺陷檢測，CMP工藝

- FPD產(chǎn)品:觸摸屏屏幕檢測，ITO圖案，LCD柱間距高度

- MEMS器件:結(jié)構(gòu)三維輪廓，表面粗糙度，MEMS圖形

-玻璃表面:薄膜太陽能電池，太陽能電池紋理，激光圖案

-材料研究:模具表面檢測，粗糙度，裂紋分析

 

 

Specifications（規(guī)格）：

?Model	Microscope                         NS-3600					備注
物鏡倍率		10x	20x	50x	100x
觀察/  測量范圍	水平 (H): μm	1400	700	280	140
	垂直 (V): μm	1050	525	210	105
WD: mm		16.5	3.1	0.54	0.3
數(shù)值孔徑(N.A.)		0.30	0.46	0.80	0.95
觀察/測量光學系統(tǒng)		針孔共聚焦光學系統(tǒng)
高度測量	測量掃描范圍	10mm
	顯示分辨率	0.001 μm
	重復率 σ	0.02 μm				注1
寬度測量	顯示分辨率	0.001 μm
	重復率 3σ	0.03 μm				注 2
幀記憶	像素	1024x1024, 1024x768, 1024x384,   1024x192, 1024x96
	單色圖像	12 bit
	彩色圖像	8-bit for RGB each
	高度測量	16 bit
幀速率	表面掃描	20 Hz to 160 Hz
	線掃描	~8 kHz
激光接收元件		PMT (光電倍增管)
激光	波長	638nm (2mW)
光學觀察照相機	成像元件	彩色圖像 CCD 傳感器
	記錄分辨率	1296x966
數(shù)據(jù)處理單元		PC
電源	電源電壓	100 to 240 VAC, 50/60 Hz
	電流消耗	500 VA max.
重量	顯微鏡	大約. ~50 kg (測量頭大約: ~12 kg)
	控制器	~8 kg
隔振系統(tǒng)		氣浮隔振				Option

 

注1:100次測量標準樣品(1μm高度)  100 x/ 0.9物鏡。

注2:100次測量標準樣品(5μm 間距)  100 ×/ 0.9物鏡。