掃描模塊：

XY軸模塊 MS 50: 掃描范圍：50×50mm，分辨率：0.1μm；

Z軸模塊 ZM 100：掃描范圍：100mm，分辨率：0.1μm；

Z軸模塊 NV 350：壓電掃描，掃描范圍：350μm，分辨率<1nm。

光學(xué)模塊1）                                   1600S            800L/S/XS      320L/S/XS      160L/S

XY測量范圍（um）2                   1600×1600        800×800       320×320       160×160

數(shù)值孔徑                                         0.3               0.4/0.46/0.6    0.5/0.8/0.95      0.8/0.95

Z方向測量范圍（mm）                     10.1                12/3.1/0.9      10.6/0.66/0.3     3.4/0.31

Z方向范圍分辨率（nm）   CX           50                    35/30             25/15

                                         CI            20                    6/5/4              4/2/2                   2/1

XY分辨率                                        2.9                    1.5                 0.6                     0.31

注：1） L：長工作距離，S：普通工作距離，XS：短工作距離；

2） noise level （only with NV350）

德國Nanofocus是一家的高科技公司，是微納米尺度上的光學(xué)表面測量技術(shù)的*，生產(chǎn)的光學(xué)輪廓儀是科學(xué)研究和工業(yè)領(lǐng)域廣泛應(yīng)用的良好設(shè)備，為大眾、寶馬、西門子、飛利浦、BOSCH等世界企業(yè)提供精密的解決方案。

德國Nanofocus公司的表面光學(xué)輪廓儀在光學(xué)設(shè)計、精密機械和科學(xué)軟件算法方面，擁有長期不斷發(fā)展的技術(shù)，由于這些專門技術(shù)的應(yīng)用，Nanofocus為生產(chǎn)和質(zhì)量控制的研究和發(fā)展提供精密準(zhǔn)確的*解決方案。

Nanofocus的表面測量系統(tǒng)適用于研發(fā)和生產(chǎn)過程控制中的定性和定量測量，其核心部件達到納米尺度的創(chuàng)新的光學(xué)設(shè)計，其強大且友好的軟件控制使所需獲得的數(shù)據(jù)不僅速度快，而且精度高，并提供了多種不同的表面分析方法。

NanoFocus有兩種光學(xué)測量系統(tǒng)：μSurf（白光共軛焦輪廓儀）和μScan（激光輪廓測量儀）

產(chǎn)品類型：白光、共焦、非接觸

μSurf結(jié)合CCD的影像攝取，以有許多孔洞的旋轉(zhuǎn)盤取代偵測器的孔洞，再將物鏡垂直移動，以類似斷層攝影方式，精確量測物體高度。

由于使用了共軛焦的方法，在測量漸變較大的高度時，跟其他同類公司產(chǎn)品使用較多的干涉法相比，可以精確量測物體高度，建立3D立體影像，優(yōu)勢相當(dāng)明顯。

應(yīng)用:

μSurf用來測量表面物理形貌，如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓（縱深、寬度、曲率、角度）、表面粗糙度等。其測量方式是非接觸式，不會破壞樣品的表面，不需要在真空環(huán)境下測量，也可以用顯微鏡測量的功能來觀測樣本。

☆精密部件：檢測對表面磨損，表面粗糙度，表面微結(jié)構(gòu)有要求的零部件，比如發(fā)動機汽缸；

☆生命科學(xué)：測量stents支架上鍍層厚度等；

☆微電子機械系統(tǒng)：微型器件的檢測，醫(yī)藥工程中組織結(jié)構(gòu)的檢測，如基因芯片等；

☆半導(dǎo)體: 檢測微型電子系統(tǒng)，封裝及輔助產(chǎn)品結(jié)構(gòu)設(shè)計。