表面形貌儀能夠在同一測試平臺上運行多種測試，產品的組合可根據(jù)不同的技術應用要求而改變。針對樣品的同一區(qū)域可進行不同模式的實驗檢測，模式切換可實現(xiàn)全自動化。多項技術的整合能夠使不同技術在同一檢測儀上充分發(fā)揮各自的優(yōu)勢。該項整合技術不僅有利于數(shù)據(jù)的綜合分析，也可以減少維護成本，從而提率。
 

　　表面形貌儀測量原理：

　　低相干白光同時照射樣品和參考平面，被樣品和參考平面反射的兩束白光發(fā)生干涉后由陣列式CMOS探測器接收，由于探測器直接與信號處理芯片連接，所以陣列上每個像素點的信號都在芯片中完成鎖相放大，背景信號補償和結果計算輸出，成像于計算機就實現(xiàn)了樣品表面的快速三維形貌測量。
 

　　雙模式三維表面形貌儀——共焦

　　可快速垂直掃描的旋轉盤共焦技術。

　　使用高數(shù)值孔徑 (0.95) 以及高倍數(shù)的 (150X) 3D全視野3D鏡頭，用以表征坡度分析 (zui大斜率<干涉測量>: 72o vs 44o) 。

　　具有光學形貌上zui高的橫向分辨率，附有5百萬自動分辨率的CCD相機， 空間下樣可調至0.05um，是表面特征以及形貌的測量的*配置。

　　在測量表面粗糙度/表面反射率上無限制(0.1%- 100%)

　　應用于透明層/薄膜。

　　兼容亮視野&暗視野; 光學DIC。

　　長距離遠攝鏡頭是用以測量高縱橫比以及坡度特性的理想之選。

　　*的穩(wěn)定性。
 

　　表面形貌儀產品特性：

　　1、采用白光共聚焦色差技術，可獲得納米級的分辨率。

　　2、測量具有非破壞性，測量速度快，度高。

　　3、測量范圍廣，可測透明、金屬材料，半透明、高漫反射，低反射率、拋光、粗糙材料。

　　4、尤其適合測量高坡度高曲折度的材料表面。

　　5、不受樣品反射率的影響。

　　6、不受環(huán)境光的影響。

　　7、測量簡單，樣品無需特殊處理。

　　8、Z方向,測量范圍大：為27mm。