表面形貌儀采用的白光共聚焦技術(shù)，Zui高掃描速度可達1m/s，可實現(xiàn)對材料表面從納米到毫米量級的粗糙度測試，具有測量精度高，速度快，重復(fù)性好的優(yōu)點，測量不受樣品反射率和光的影響，測量簡單，可用于測量大尺寸樣品，如透明、金屬材料，半透明、高漫反射，低反射率、拋光、粗糙材料等，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體材料、太陽能電池、醫(yī)療工程、制藥、生物材料，光學(xué)元件、陶瓷和先進材料的研發(fā)。