表面形貌儀采用的白光共聚焦技術(shù)，Zui高掃描速度可達(dá)1m/s，可實(shí)現(xiàn)對(duì)材料表面從納米到毫米量級(jí)的粗糙度測(cè)試，具有測(cè)量精度高，速度快，重復(fù)性好的優(yōu)點(diǎn)，測(cè)量不受樣品反射率和光的影響，測(cè)量簡(jiǎn)單，可用于測(cè)量大尺寸樣品，如透明、金屬材料，半透明、高漫反射，低反射率、拋光、粗糙材料等，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體材料、太陽(yáng)能電池、醫(yī)療工程、制藥、生物材料，光學(xué)元件、陶瓷和先進(jìn)材料的研發(fā)。