原子力顯微鏡一種可用來(lái)研究包括絕緣體在內(nèi)的固體材料表面結(jié)構(gòu)的分析儀器。它通過(guò)檢測(cè)待測(cè)樣品表面和一個(gè)微型力敏感元件之間的極微弱的原子間相互作用力來(lái)研究物質(zhì)的表面結(jié)構(gòu)及性質(zhì)。將一對(duì)微弱力敏感的微懸臂一端固定，另一端的微小針尖接近樣品，這時(shí)它將與其相互作用，作用力將使得微懸臂發(fā)生形變或運(yùn)動(dòng)狀態(tài)發(fā)生變化。掃描樣品時(shí)，利用傳感器檢測(cè)這些變化，就可獲得作用力分布信息，從而以納米級(jí)分辨率獲得表面形貌結(jié)構(gòu)信息及表面粗糙度信息。

 

　　原子力顯微鏡的基本原理：

　　是將一個(gè)對(duì)微弱力極敏感的微懸臂一端固定，另一端有一微小的針尖，針尖與樣品表面輕輕接觸，由于針尖原子與樣品表面原子間存在極微弱的排斥力，通過(guò)在掃描時(shí)控制這種力的恒定，帶有針尖的微懸臂將對(duì)應(yīng)于針尖與樣品表面原子間作用力的等位面而在垂直于樣品的表面方向起伏運(yùn)動(dòng)。利用光學(xué)檢測(cè)法或隧道電流檢測(cè)法，可測(cè)得微懸臂對(duì)應(yīng)于掃描各點(diǎn)的位置變化，從而可以獲得樣品表面形貌的信息。

 

　　應(yīng)用：

　　1、主要用于材料納米級(jí)表面形貌、粗糙度的測(cè)量，同時(shí)還可以測(cè)試納米材料的表面機(jī)械性能、電學(xué)、磁學(xué)和電化學(xué)等物理特性等；

　　2、廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、納米材料、通訊、生物學(xué)、數(shù)據(jù)儲(chǔ)存、食品、化學(xué)、地質(zhì)、能源、環(huán)境等領(lǐng)域。

 

　　原子力顯微鏡的使用特點(diǎn)：

　　1、堅(jiān)固可靠操作，科研級(jí)原子力顯微鏡和掃描探針顯微鏡；

　　2、單原子步進(jìn)分辨率為100x100um掃描；

　　3、超高精度重復(fù)定位，掃描范圍內(nèi)沒(méi)有邊界畸變；

　　4、高靈敏度較低力測(cè)量；

　　5、非常適合軟材料測(cè)量；

　　6、模塊化結(jié)構(gòu)提供多種掃描探針模式。