衍射光譜儀模塊的zui大特點(diǎn)是使用了一個(gè)表面高質(zhì)量鍍膜的,具有畸變校正功能的平面衍射光柵。入射光線通過狹縫或光纖光學(xué)元件后照明光柵,然后再光柵刻線處衍射。入射光線以固定的角度衍射,該角度可被模塊中的光電二極管(多通道傳感器)探測。這樣,傳感器的每個(gè)像素具有不同的波長。像素的大小和間距,光柵對(duì)光的離散共同對(duì)該模塊的光譜分辨率起影響作用。
通過使用具有校正功能的平面光柵,該光譜儀模塊可達(dá)到1:1的圖像比率。即使是狹縫所透的光,該光譜儀模塊也能給出高的輸出光譜,這也使得使用多光纖光學(xué)元件連接多達(dá)10個(gè)譜線的二維圖像而不重疊成為可能。
這些杰出的圖像特點(diǎn)如果與陣列CCD傳感器(后向照明型)連用,就能成就高質(zhì)量的光譜儀模塊。
作為可選項(xiàng),為滿足真空環(huán)境的應(yīng)用,該光譜儀模塊可選用紫外CCD傳感器,可以滿足低至150nm的光譜測量要求。
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