目錄:孚光精儀(中國)有限公司>>光學精密機械類>>精密位移臺>> FPSMAR-SLL12納米線性位移臺
產(chǎn)地類別 | 進口 | 產(chǎn)品種類 | 電動 |
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價格區(qū)間 | 面議 | 應用領域 | 化工,石油,電子 |
型號 | SLL12 | SLLA42 | SLLV42 |
分辨率 | <1nm | <1nm | <1nm |
負載 | 30N(3kg) | 30N(3kg) | 30N(3kg) |
適合真空度 | 10-11 mbar | 10-11 mbar | 10-11 mbar |
行程范圍 | 70~475mm | 70~1480mm | 70~1480mm |
步進1 | 1-1500nm | 1-1500nm | 1-1500nm |
掃描范圍 | >1.5um | >3um | >3um |
掃描分辨率 | <1nm | <1nm | <1nm |
速度 | >20mm/s | >20mm/s | >20mm/s |
***大頻率 | 18.5KHz | 18.5KHz | 18.5KHz |
阻尼力Fb | >3N | >5N | >5N |
***大正向力Fn | 30N | 30N | 30N |
***大升力Fl | >1N | >1.5N | >1.5N |
尺寸 | 33.8 x 27 x 13 mm3 | 54 x 60 x 16 mm3 | 54.8 x 60 x 16 mm3 |
重量 | 44g | 148g | 148g |
鋼軌重 | 59 g / 100 mm | 286 g / 100 mm | 286 g / 100 mm |
pitch俯仰力矩Mp | 6Nm | 25Nm | 25Nm |
yaw偏航力矩My | 6Nm | 25Nm | 25Nm |
roll扭轉(zhuǎn)力矩Mr | 11Nm | 90Nm | 90Nm |
Closed-Loop-S 傳感器分辨率 | 1nm | 1nm | 1nm |
Closed-Loop-S 重復精度 | ± 70 ~450 nm 2 | ± 70 ~450 nm 2 | ± 70 ~450 nm 2 |