多自由度微操縱定位平臺采用納米旋轉(zhuǎn)臺和納米定位平臺搭建成的精密復(fù)雜定位系統(tǒng),非常適合納米操縱,納米操作,微納操縱研究應(yīng)用。
9自由度微操縱系統(tǒng)
9自由度微操縱系統(tǒng)是9軸微操縱系統(tǒng)和9維微納操縱系統(tǒng),采用7個SLC納米線性定位器,1個SR2013納米旋轉(zhuǎn)臺和1個SG1730納米微夾鉗搭建組成,都配備納米傳感器,非常適合搭建微尺度玻璃球螺旋結(jié)構(gòu)等復(fù)雜艱難任務(wù)。9自由度微操縱系統(tǒng)全自動化操作,具有定位臺反饋機制。


歐拉角定位臺系統(tǒng)
這款歐拉角定位臺系統(tǒng)是非磁性鈦金屬2D歐拉角位臺系統(tǒng),專業(yè)為UHV定位設(shè)計。

光纖準(zhǔn)直系統(tǒng)
這套光纖準(zhǔn)直系統(tǒng)采用3D和1D納米位移臺搭建,光纖夾具連接到3D定位臺上,波導(dǎo)測量系統(tǒng)可安裝到1D定位臺上,結(jié)合恒力彈簧,3D定位臺可負載400g樣品。
這套光纖準(zhǔn)直系統(tǒng)都配備了納米傳感器,分辨率高達1nm,定位重復(fù)精度大約45nm，速度可達20mm/s.


5軸微操作位移臺
5軸微操作位移臺是5自由度定位臺系統(tǒng),可提供XYZ三維位移定位和2個角位臺旋轉(zhuǎn)定位,Z軸特別使用了恒力彈簧,有效增加持久性負載能力。
5軸微操作位移臺可用于高真空或超高真空環(huán)境。


8自由度定位臺由2個三維位移臺h和旋轉(zhuǎn)定位臺組成,可以配備微zhua鉗用于精密定位。